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Volumn , Issue , 1997, Pages 15-18

Single mask stress buffer

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AROMATIC HYDROCARBONS; DIELECTRIC MATERIALS; ELECTRONICS PACKAGING; ETCHING; MASKS; PASSIVATION; RELIABILITY; SILICON NITRIDE; STRESSES; THERMAL EXPANSION;

EID: 0030646104     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.