메뉴 건너뛰기




Volumn 102, Issue , 1996, Pages 3-5

Theory of surfactant-mediated growth on semiconductor surfaces

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACTIVATION ENERGY; ARSENIC; COMPUTER SIMULATION; DIFFUSION IN SOLIDS; EPITAXIAL GROWTH; FILM GROWTH; ION EXCHANGE; MONTE CARLO METHODS; SEMICONDUCTING FILMS; SEMICONDUCTING GERMANIUM; SEMICONDUCTING SILICON; SURFACE ACTIVE AGENTS;

EID: 0030564925     PISSN: 01694332     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/0169-4332(96)00008-6     Document Type: Article
Times cited : (7)

References (37)
  • 3
    • 6144258766 scopus 로고
    • M. Copel, M.C. Reuter, M. Horn von Hoegen and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 42 (1990) 11682; M. Horn-von Hoegen, F.K. LeGoues, M. Copel, M.C. Reuter and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 67 (1991) 1130; J. Falta, M. Copel, F.K. LeGoues and R.M. Tromp, Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 2962; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72 (1994) 1236.
    • (1990) Phys. Rev. B , vol.42 , pp. 11682
    • Copel, M.1    Reuter, M.C.2    Horn Von Hoegen, M.3    Tromp, R.M.4
  • 4
    • 3242883707 scopus 로고
    • M. Copel, M.C. Reuter, M. Horn von Hoegen and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 42 (1990) 11682; M. Horn-von Hoegen, F.K. LeGoues, M. Copel, M.C. Reuter and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 67 (1991) 1130; J. Falta, M. Copel, F.K. LeGoues and R.M. Tromp, Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 2962; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72 (1994) 1236.
    • (1991) Phys. Rev. Lett. , vol.67 , pp. 1130
    • Horn-Von Hoegen, M.1    LeGoues, F.K.2    Copel, M.3    Reuter, M.C.4    Tromp, R.M.5
  • 5
    • 21544470327 scopus 로고
    • M. Copel, M.C. Reuter, M. Horn von Hoegen and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 42 (1990) 11682; M. Horn-von Hoegen, F.K. LeGoues, M. Copel, M.C. Reuter and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 67 (1991) 1130; J. Falta, M. Copel, F.K. LeGoues and R.M. Tromp, Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 2962; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72 (1994) 1236.
    • (1993) Appl. Phys. Lett. , vol.62 , pp. 2962
    • Falta, J.1    Copel, M.2    LeGoues, F.K.3    Tromp, R.M.4
  • 6
    • 0001412445 scopus 로고
    • M. Copel, M.C. Reuter, M. Horn von Hoegen and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 42 (1990) 11682; M. Horn-von Hoegen, F.K. LeGoues, M. Copel, M.C. Reuter and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 67 (1991) 1130; J. Falta, M. Copel, F.K. LeGoues and R.M. Tromp, Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 2962; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72 (1994) 1236.
    • (1994) Phys. Rev. Lett. , vol.72 , pp. 1236
    • Copel, M.1    Tromp, R.M.2
  • 8
    • 0026900662 scopus 로고
    • G. Meyer, B. Voigtlander and N.M. Amer, Surf. Sci. Lett. 274 (1992) L541; B. Voigtlander and A. Zinner, Surf. Sci. Lett. 292 (1993) L775; J. Vac. Sci. Technol. A 12 (1994) 1932.
    • (1992) Surf. Sci. Lett. , vol.274
    • Meyer, G.1    Voigtlander, B.2    Amer, N.M.3
  • 9
    • 0027627635 scopus 로고
    • G. Meyer, B. Voigtlander and N.M. Amer, Surf. Sci. Lett. 274 (1992) L541; B. Voigtlander and A. Zinner, Surf. Sci. Lett. 292 (1993) L775; J. Vac. Sci. Technol. A 12 (1994) 1932.
    • (1993) Surf. Sci. Lett. , vol.292
    • Voigtlander, B.1    Zinner, A.2
  • 10
    • 84856129820 scopus 로고
    • G. Meyer, B. Voigtlander and N.M. Amer, Surf. Sci. Lett. 274 (1992) L541; B. Voigtlander and A. Zinner, Surf. Sci. Lett. 292 (1993) L775; J. Vac. Sci. Technol. A 12 (1994) 1932.
    • (1994) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.12 , pp. 1932
  • 18
    • 3743115953 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1990) Japan. J. of Appl. Phys. , vol.29
    • Fujita, K.1    Fukatsu, S.2    Yaguchi, H.3    Igarashi, T.4    Shiraki, Y.5    Ito, R.6
  • 19
    • 3743115953 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1991) Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , vol.220 , pp. 217
    • Fukatsu, S.1    Fujita, K.2    Yaguchi, H.3    Shiraki, Y.4    Ito, R.5
  • 20
    • 0346609110 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1992) Appl. Phys. Lett. , vol.61 , pp. 210
    • Fujita, K.1    Fukatsu, S.2    Shiraki, Y.3    Yaguchi, H.4    Shiraki, Y.5    Ito, R.6
  • 21
    • 0001589224 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1993) Appl. Phys. Lett. , vol.63 , pp. 388
    • Usami, N.1    Fukatsu, S.2    Shiraki, Y.3
  • 22
    • 0027961261 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1994) Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , vol.318 , pp. 191
    • Shiraki, Y.1    Fukatsu, S.2    Fujita, K.3    Usami, T.4
  • 23
    • 0028550420 scopus 로고
    • K. Fujita, S. Fukatsu, H. Yaguchi, T. Igarashi, Y. Shiraki and R. Ito, Japan. J. of Appl. Phys. 29 (1990) L1981; S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 220 (1991) 217; K. Fujita, S. Fukatsu, Y. Shiraki, H. Yaguchi, Y. Shiraki and R. Ito, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 210; N. Usami, S. Fukatsu and Y. Shiraki, Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 388; Y. Shiraki, S. Fukatsu, K. Fujita and T. Usami, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 318 (1994) 191; Y. Shiraki and S. Fukatsu, Semicond. Sci. Technol. 9 (1994) 2017.
    • (1994) Semicond. Sci. Technol. , vol.9 , pp. 2017
    • Shiraki, Y.1    Fukatsu, S.2
  • 26
    • 3342973211 scopus 로고
    • B.D. Yu and A. Oshiyama, Phys. Rev. Lett. 71 (1993) 585; 72 (1994) 3190.
    • (1994) Phys. Rev. Lett. , vol.72 , pp. 3190
  • 32
    • 0000252146 scopus 로고
    • R.S. Becker, B.S. Swartzentruber, J.S. Vickers, M.S. Hybertsen and S.G. Louie, Phys. Rev. Lett. 60 (1988) 116; M. Copel, R.M. Tromp and U.K. Köhler, Phys. Rev. B 37 (1988) 10756; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 37 (1988) 2766.
    • (1988) Phys. Rev. B , vol.37 , pp. 10756
    • Copel, M.1    Tromp, R.M.2    Köhler, U.K.3
  • 33
    • 0007634587 scopus 로고
    • R.S. Becker, B.S. Swartzentruber, J.S. Vickers, M.S. Hybertsen and S.G. Louie, Phys. Rev. Lett. 60 (1988) 116; M. Copel, R.M. Tromp and U.K. Köhler, Phys. Rev. B 37 (1988) 10756; M. Copel and R.M. Tromp, Phys. Rev. B 37 (1988) 2766.
    • (1988) Phys. Rev. B , vol.37 , pp. 2766
    • Copel, M.1    Tromp, R.M.2
  • 36
    • 0346152016 scopus 로고
    • J. Tersoff and R.M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 70 (1993) 2782; J. Tersoff and F.K. LeGoues, Phys. Rev. Lett 72 (1994) 3570.
    • (1993) Phys. Rev. Lett. , vol.70 , pp. 2782
    • Tersoff, J.1    Tromp, R.M.2
  • 37


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.