Massively parallel simulations of Brownian dynamics particle transport in low pressure parallel-plate reactors

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 2, 1996, Pages 660-665

  Choi, Seung J ^a   Rader, Daniel J ^a   Geller, Anthony S ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030525582     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580120     Document Type: Article

References (38)

1. R. M. Roth, K. G. Spears, G. D. Stein, and G. Wong, Appl. Phys. Lett. 46, 235 (1985).
2. G. S. Selwyn, J. E. Heidenreich, and K. L. Haller, Appl. Phys. Lett. 57, 1876 (1990).
3. G. S. Selwyn, J. Singh, and R. S. Bennett, J. Vac. Sci. Technol. A , 2758 (1989).
4. G. S. Selwyn, J. S. McKillop, K. L. Haller, and J. J. Wu, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1726 (1990).
5. G. M. Jellum and D. B. Graves, Appl. Phys. Lett. 57, 2077 (1990).
6. G. M. Jellum and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 67, 6490 (1990).
7. G. M. Jellum, J. E. Daugherty, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 69, 6923 (1991).
8. Y. Watanabe, M. Shiratani, and H. Makino, Appl. Phys. Lett. 57, 1616 (1990).
9. R. N. Carlile, S. G. Geha, J. O'Hanlon, and J. Stewart, Appl. Phys. Lett. 59, 1167 (1991).
10. T. J. Sommerer, M. S. Barnes, J. H. Keller, M. J. McCaughey, and M. J. Kushner, Appl. Phys. Lett. 59, 638 (1991).
11. M. S. Barnes, J. H. Keller, J. C. Forster, J. A. O'Neill, and D. K. Coultas, Phys. Rev. Lett. 68, 313 (1992).
12. S. J. Choi, P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 418 (1994).
13. J. E. Daugherty, R. K. Porteous, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 73, 1617 (1993).
14. M. D. Kilgore, J. E. Daugherty, R. K. Porteous, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 73, 7195 (1993).
15. S. J. Choi and M. J. Kushner, Appl. Phys. Lett. 62, 2197 (1993).
16. S. J. Choi and M. J. Kushner, EEEE Trans. Plasma Sci. 22, 138 (1994).
17. D. J. Rader and A. S. Geller, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 426 (1994).
18. L. S. Ornstein, Versl. Acad. Amst. 26, 1005 (1917).
19. R. Furth, Z. Phys. 2, 244 (1920).
20. E. G. Uhlenbeck and S. L. Ornstein, Phys. Rev. 36, 823 (1930).
21. S. Chandrasekhar, Rev. Mod. Phys. 15, 1 (1943).
22. M. H. Peters, D. W. Cooper, and R. J. Miller, J. Aerosol. Sci. 20, 123 (1989).
23. D. W. Cooper, M. H. Peters, and R. J. Miller, Aerosol. Sci. Technol. 11, 133 (1989).
24. B. Y. H. Liu and A. Kang-Ho, Aerosol. Sci. Technol. 6, 215 (1987).
25. S. Abuzeid, A. A. Busnaina, and G. Ahmadi, J. Aerosol. Sci. 22, 43 (1991).
26. A. Li and G. Ahmadi, R. G. Bayer, and M. A. Gaynes, J. Aerosol. Sci. 25, 91 (1994).
27. L. D. Hinkle and B. R. F. Kendall, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 243 (1992).
28. T. J. Bartel and S. J. Plimpton, AIAA Thermophysics Conference, Nashville, TN, 1992 (unpublished).
29. G. A. Bird, Molecular Gas Dynamics and Direct Simulation of Gas Flows (Clarendon, Oxford, 1993).
30. E. Cunningham, Proc. R. Soc. London Ser. A 83, 357 (1910).
31. D. J. Rader, J. Aerosol. Sci. 21, 161 (1990).
32. G. S. Springer, Advances in Heat Transfer (Academic, New York, 1971), Vol. 7.
33. E. H. Kennard, Kinetic Theory of Gases, 1st ed. (McGraw-Hill, New York, 1938).
34. M. N. Kogan, Rarefied Gas Dynamics (Plenum, New York, 1969).
35. A. J. Hurd and P. Ho, Phys. Rev. Lett. 62, 3034 (1989).
36. J. J. Wu and R. J. Miller, J. Appl. Phys. 67, 1051 (1990).
37. M. Shiratani, S. Matsuo, and Y. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1887 (1991).
38. S. Collins, J. F. O'Hanlon, R. Carlile, and J. Kang J. Vac. Sci. Technol. A 14, 634 (1996).