Dielectric properties of Zr, ZrN, Zr3N4, and ZrO2 determined by quantitative analysis of electron energy loss spectra

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 6, 1996, Pages 3181-3188

  Prieto, P ^a   Yubero, F ^b   Elizalde, E ^a   Sanz, J M ^a  

^a INSTITUTO NICOLÁS CABRERA   (Spain)

^b UNIVERSITÉ PARIS SACLAY   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030506183     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580210     Document Type: Article

References (39)

1. R. H. French, D. J. Glass, F. S. Ohuchi, Y. N. Xu, and W. Y. Ching, Phys. Rev. B 49, 5133 (1994).
2. P. Camagni, G. Samoggia, L. Sangaletti, F. Parmigiani, and N. Zena, Phys. Rev. B 50, 4292 (1994).
3. D. W. Lynch, C. G. Olson, and J. H. Weaver, Phys. Rev. B 11, 3617 (1975).
4. S. Tougaard and I. Chorkendorff, Solid State Commun. 57, 77 (1986).
5. J. C. Ingram, K. W. Nebesny, and J. E. Pemberton, Appl. Surf. Sci. 45, 247 (1990), 44, 279, 293 (1990).
6. J. C. Ingram, K. W. Nebesny, and J. E. Pemberton, Appl. Surf. Sci. 45, 247 (1990), 44, 279, 293 (1990).
7. Y. Ohno, Phys. Rev. B 39, 8209 (1989).
8. F. Yubero and S. Tougaard, Phys. Rev. B 46, 2486 (1992).
9. F. Yubero, J. M. Sanz, E. Elizalde, and L. Galán, Surf. Sci. 237, 173 (1990).
10. F. Yubero, J. M. Sanz, E. Elizalde, and L. Galán, Surf. Sci. 251, 296 (1991).
11. F. Yubero, J. M. Sanz, J. F. Trigo, E. Elizalde, and S. Tougaard, Surf. Interface Anal. 22, 124 (1994).
12. F. Yubero, S. Tougaard, E. Elizalde, and J. M. Sanz, Surf Interface Anal. 20, 719 (1993).
13. G. Mondio, F. Neri, S. Patané, A. Arena, G. Marletta, and F. Lacone, Thin Solid Films 207, 313 (1992).
14. Handbook of Optical Constants of Solids, edited by E. D. Palik (Academic, New York, 1985).
15. J. Daniels, C. V. Festenberg, H. Raether, and K. Zeppenfeld, Springer Tracts Mod. Phys. 54, 77 (1970).
16. J. Frandon, B. Brousseau, and F. Pradal, Phys. Status Solidi B 98, 379 (1980).
17. J. Pflüger, J. Fink, W. Weber, K.-P. Bohen, and G. Crecelius, Phys. Rev. B 31, 1244 (1985).
18. J. Pflüger, J. Fink, and K. Schwarz, Solid State Commun. 55, 675 (1985).
19. B. O. Johansson, J. E. Sundgren, U. Helmerson, and M. K. Hibbs, Appl. Phys. Lett. 44, 670 (1984).
20. B. O. Johansson, H. T. G. Hentzell, J. M. E. Harper, and J. J. Cuomo, J. Mater. Res. 1, 442 (1986).
21. P. Prieto, L. Galán, and J. M. Sanz, Phys. Rev. B 47, 1613 (1993).
22. P. Prieto, A. Fernandez, L. Soriano, F. Yubero, E. Elizalde, A. R. Gonzalez-Elipe, and J. M. Sanz, Phys. Rev. B 51, 17984 (1995).
23. M. P. Seah and W. A. Dench, Surf. Interface Anal. 1, 2 (1979).
24. S. Tanuma, C. J. Powell, and D. R. Penn, Surf. Interface Anal. 17, 927 (1991).
25. D. Pines and P. Nozières, The Theory of Quantum Liquids (Benjamin, New York, 1966), Vol. 1.
26. C. Morant, J. M. Sanz, and L. Galán, Phys. Rev. B 45, 1391 (1992).
27. J. Cazaux, Opt. Commun. 3, 221 (1971).
28. G. Chiarello, E. Colavita, M. De Crescenci, and S. Nannarone, Phys. Rev. B 29, 4878 (1984).
29. J. M. Sanz and C. Palacio, Solid State Commun. 64, 189 (1987).
30. P. Aebi, M. Erbudak, A. Leonardi, and F. Vanini, J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 42, 351 (1987).
31. G. R. Corallo, D. A. Asbury, R. E. Gilber, and G. B. Hoflund, Phys. Rev. B 35, 9451 (1987).
32. W. K. Schubert, R. N. Shelton, and E. L. Wolf, Phys. Rev. B 24, 6278 (1981).
33. K. O. Axelsson, K. E. Kech, and B. Kasemo, Surf. Sci. 164, 109 (1985).
34. B. M. Biwer and S. L. Bemasek, Surf. Sci. 167, 207 (1986).
35. I. R. Strydom and S. Hofmann, Vacuum 41, 1619 (1990).
36. P. Prieto and R. E. Kirby, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2819 (1995).
37. J. M. Sanz, M. A. Bañon, E. Elizalde, and F. Yubero, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 48, 143 (1989).
38. G. Marletta and S. Pignataro, Chem. Phys. Lett. 124, 414 (1986).
39. L. Soriano, M. Abbate, J. C. Fuggle, M. A. Jiménez, J. M. Sanz, C. Mythen, and H. A. Padmore, Solid State Commun. 87, 699 (1993).