Atomic force microscopy of amorphous hydrogenated carbon-nitrogen films deposited by radio-frequency-plasma decomposition of methane-ammonia gas mixtures

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 4, 1996, Pages 2351-2355

  Prioli, R ^a   Zanette, S I ^a   Caride, A O ^a   Franceschini, D F ^b   Freire Jr , F L ^b  

^a CENTRO BRASILEIRO DE PESQUISAS FÍSICAS   (Brazil)

^b PONTIFICAL CATHOLIC UNIVERSITY OF RIO DE JANEIRO   (Brazil)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030503362     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580021     Document Type: Article

References (31)

1. J. C. Angus, Y. Wang, and R. W. Hofman, in New Diamond Science and Technology, edited by R. Messier, J. T. Glass, J. E. Butler, and J. T. Glass (Materials Research Society, Pittsburgh, 1991), p. 11.
2. J. Robertson, Progr. Solid State Chem. 21, 199 (1991).
3. J. W. Zou, K. Reichelt, K. Schmidt, and B. Discher, J. Appl. Phys. 65, 391 (1989).
4. X. Jiang, W. Beyer, and K. Reichelt, J. Appl. Phys. 68, 1378 (1990).
5. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science 245, 841 (1989).
6. J. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saperstein, Phys. Rev. B 39, 13 053 (1989).
7. O. Amir and R. Kalish, J. Appl. Phys. 70, 4958 (1991).
8. D. F. Franceschini, C. A. Achete, F. L. Freire Jr., and G. Mariotto, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 270, 482 (1992).
9. M. Ricci, M. Trinquescoste, F. Auguste, R. Canet, P. Delhaus, C. Guimon, G. Pfister-Guillouzo, B, Nysten, and J. P. Issi, J. Mater. Res. 8, 480 (1993).
10. A. Mansour and D. Ugolini, Phys. Rev. B 47, 10201 (1993).
11. J. Seth, R. Padiyath, and S. V. Babu, Diamond Relat. Mater. 3, 210 (1994).
12. S. R. P. Silva, K. J. Clay, S. P. Speakman, and G. A. J. Amaratunga, Diamond Relat. Mater. 4, 977 (1995).
13. D. F. Franceschini, C. A. Achete, and F. L. Freire Jr., Appl. Phys. Lett. 60, 3229 (1992).
14. A. Grill and V. Patel, Diamond Relat. Mater. 2, 1525 (1993).
15. S. Metin, J. H. Kaufman, D. D. Saperstein, J. Campbell Scott, J. Heyman, and E. E. Haller, J. Mater. Res. 9, 396 (1994).
16. D. F. Franceschini, F. L. Freire Jr., C. A. Achete, and G. Mariotto, Diamond Relat. Mater, (in print).
17. K. R. Lee, K. Y. Eun, and J. S. Rhee, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 356, 779 (1995).
18. G. Mariotto, F. L. Freire Jr., and C. A. Achete, Thin Solid Films 241, 255 (1994).
19. V. S. Verasamy, J. Yuan, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, K. W. R. Gilkes, M. Weiler, and L. M. Brown, Phys. Rev. B 48, 17 954 (1993).
20. F. L. Freire Jr., C. A. Achete, R. S. Brusa, G. Mariotto, X. T. Teng, and A. Zecca, Solid State Commun. 91, 965 (1994).
21. J. González-Hernandez, C. Vázquez, A. Zuñinga-Segundo, and B. S. Chao, Solid State Commun. 87, 23 (1993).
22. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, and E. Grossman, Phys. Rev. Lett. 72, 2753 (1994).
23. Z. Jiang, C. J. Lu, D. B. Bogy, C. S. Bathia, and T. Miyamoto, Thin Solid Films 258, 75 (1995).
24. C. J. Torng, J. M. Siverstein, J. H. Judy, and C. Chang, J. Mater. Res. 5, 2490 (1990).
25. D. Li, Y. W. Chung, M. S. Wong, and D. S. Sproul, J. Appl. Phys. 74, 219 (1993).
26. S. Miyake, S. Watanabe, H. Miyazawa, R. Murakawa, R. Kanedo. and T. Miyamoto, Appl. Phys. Lett. 65, 3206 (1994).
27. F. L. Freire Jr., D. F. Franceschini, and C. A. Achete, Nucl. Instr. Methods. B 268 (1994).
28. C. A. J. Putman. M. Igarashi, and R. Kaneko, Appl. Phys. Lett. 66, 3221 (1995).
29. C. A. J. Putman, M. Igarashi, and R. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 34, L264 (1995).
30. M. Bingelli and C. M. Mate, Appl. Phys. Lett. 65, 415 (1994).
31. K. Jia, Y. Q. Li, T. E. Fischer, and B. Gallois, J. Mater. Res. 10, 1403 (1995).