Compact electron cyclotron resonance plasma source for molecular beam epitaxy applications

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 4, 1996, Pages 2655-2658

  Rossner U ^a   Brun Le Cunff, D ^a   Barski, A ^a   Daudin, B ^a  

^a CEA GRENOBLE   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030502746     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.579996     Document Type: Article

References (17)

1. R. M. Park, M. B. Troffer, C. M. Rouleau, J. M. Depuydt, and M. A. Haase, Appl. Phys. Lett. 57, 2127 (1990); J. Qui, J. M. Depuydt, H. Cheng, and A. Haase, Appl. Phys. Lett. 59, 2992 (1991).
2. R. M. Park, M. B. Troffer, C. M. Rouleau, J. M. Depuydt, and M. A. Haase, Appl. Phys. Lett. 57, 2127 (1990); J. Qui, J. M. Depuydt, H. Cheng, and A. Haase, Appl. Phys. Lett. 59, 2992 (1991).
3. J. Han, T. S. Stavrinides, M. Kobayashi, R. L. Gunshor, M. M. Hagerott, and A. V. Nurmiko, Appl. Phys. Lett. 62, 840 (1993).
4. K. A. Dhese, P. Devine, D. E. Ashenford, J. E. Nicholls, C. G. Scott, D. Sands, and B. Lunn, J. Appl. Phys. 76, 5423 (1994).
5. T. Baron, S. Tatarenko, K. Saminadayar, N. Magnea, and J. Fontenille, Appl. Phys. Lett. 65, 1284 (1994).
6. T. D. Moustakas, R. J. Molnar, T. Lei, G. Menon, and C. R. Eddy, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 242, 427 (1992).
7. M. E. Lin, B. Sverdlov, G. L. Zhou, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 62, 3479 (1993).
8. T. S. Cheng, L. C. Jenkins, S. E. Hooper, C. T. Foxon, J. W. Orton, and D. E. Lacklison, Appl. Phys. Lett. 66, 1509 (1995).
9. R. J. Molnar and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 76, 4587 (1994).
10. A. Ohtani, K. S. Stevens, and R. Beresford, Appl. Phys. Lett. 65, 61 (1994).
11. A. Botchkarev, A. Salvador, B. Sverdlov, J. Myoung, and H. Morkoç, J. Appl. Phys. 77, 4455 (1995).
12. T. C. Fu, N. Newman, E. Jones, J. S. Chan, X. Liu, M. D. Rubin, N. W. Cheung, and E. R. Weber, J. Electron. Mater. 24, 249 (1995).
13. M. Rubin, N. Newman, J. S. Chan, T. C. Fu, and J. T. Ross, Appl. Phys. Lett. 64, 64 (1994).
14. U. Rössner, A. Barski, J. L. Rouvière, A. Bourret, J. Massies, C. Deparis, and N. Grandjean, Mater. Sci. Eng. B 29, 74 (1995).
15. U. Rössner, J. L. Rouvière, A. Bourret, and A. Barski (unpublished).
16. K. S. Stevens, A. Otani, A. F. Schwartzman, and R. Beresford. J. Vac. Sci. Technol. B 12, 1186 (1994).
17. T. Lei, M. Fanciulli, R. J. Molnar, T. D. Moustakas, R. J. Graham, and J. Scanlon, Appl. Phys. Lett. 59, 944 (1991).