Surface chemical reaction between polycarbonate and kilo-electron-volt energy Ar+ ion in oxygen environment

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 4, 1996, Pages 2366-2371

  Choi, Won Kook ^a   Koh, Seok Keun ^a   Jung, Hyung Jin ^a  

^a Korea Institute of Science and Technology   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030490127     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580024     Document Type: Article

References (30)

1. S. K. Bhateja, E. H. Andrews, and R. J. Young, J. Polym. Sci. B 25, 717 (1987).
2. F. Iacona, M. Garilli, G. Marietta, O. Puglisi, and S. Piganataro, J. Mater. Res. 6, 861 (1991).
3. J. E. E. Baglin, Nucl. lnstrum. Methods B 65, 119 (1992).
4. N. J. Chou, D. W. Dong, J. Kim, and A. C. Liu, J. Electrochem. Soc. Solid State Sci. Technol. 131, 2335 (1984).
5. A. J. Kellock, G. L. Nyberg, and J. S. Williams, Vacuum 35, 625 (1985).
6. S. R. Forrest, M. L. Kaplan, P. H. Schmidt, T. Venkatesan, and A. J. Lovinger, Appl. Phys. Lett. 41, 708 (1982).
7. O. Puglisi, A. Licciardello, L. Calcagno, and G. Foti, Nucl. lnstrum. Methods B 19/20, 865 (1987).
8. B. J. Bachman and M. J. Vasile, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2709 (1989).
9. R. P. Livi, Nucl. lnstrum. Methods B 10/11, 545 (1985).
10. S. Jacobson, B. Johnson, and B. Sundqvist, Thin Solid Films 107, 89 (1983).
11. J. E. Griffith, Y. Qiu, and T. A. Tombrello, Nucl. Instrum. Methods 198, 607 (1982).
12. T. A. Tombrello, Nucl. Instrum. Methods 218, 679 (1983).
13. R. Flitsch and D. Y. Shin, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2376 (1990).
14. C. R. Wie, C. R. Shi, M. H. Mendenshall, R. P. Livi, T. Vreeland, Jr., and T. A. Tombrello, Nucl. Instrum. Methods B 9, 20 (1985).
15. I. V. Mitchell, J. S. Williams, P. Smith, and R. G. Elliman, Appl. Phys. Lett. 44, 193 (1984).
16. I. V. Mitchell, G. Nyberg, and R. G. Elliman, Appl. Phys. Lett. 45, 137 (1984).
17. B. Leclercq, M. Sotton, A. Baszkin, and L. Ter-Minassian-Saraga, Polymer 18, 675 (1977).
18. S. K. Koh, S. K. Song, W. K. Choi, H.-J. Jung, and S. N. Han, J. Mater. Res. 10, 2390 (1995).
19. S. K. Koh, W. K. Choi, S. K. Song, H.-J. Jung, and S. N. Han, J. Kor. Appl. Phys. 8, 193 (1995).
20. S. K. Koh, W. K. Choi, J. S. Cho, S. K. Song, and H.-J. Jung, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 354, 345 (1995).
21. S. K. Koh, S. K. Song, W. K. Choi, H.-J. Jung, and L. Gontcharov, Rev. Sci. Instrum. 66, 5379 (1995).
22. I. H. Loh, M. Klausner, R. F. Baddor, and R. E. Cohen, Polym. Eng. Sci. 27, 861 (1987).
23. D. Briggs, D. G. Rance, C. R. Kendall, and A. R. Blythe, Polymer 21, 895 (1980).
24. Y. Suzuki, M. Kusakabe, M. Iwaki, and M. Suzuki, Nucl. Instrum. Methods B 32, 120 (1988).
25. A. M. Wrobel, M. Kryszewski, W. Rakowski, M. Okoniewski, and Z. Kubacki, Polymer 19, 908 (1978).
26. J. S. Cho, W. K. Choi, K. H. Yoon, H.-J. Jung, and S. K. Koh, J. Mater. Res. Symp. Proc. (to be published).
27. A. M. Wrobel, Physicochemical Aspects of Polymer Surfaces, edited by K. I. Mittal (Plenum, New York, 1983).
28. A. Roth, Vacuum Technology (North-Holland, New York, 1976).
29. J. R. McNeil, A. C. Barron, S. R. Wilson, and W. C. Herrmann Jr., Appl. Opt. 24 486 (1985).
30. A. Le Moel, J. P. Duraud, and E. Balanzat, Nucl. Instrum. Methods B 18, 59 (1986).