Studies on the morphology of Al2O3 thin films grown by atomic layer epitaxy

Thin Solid Films

Volumn 286, Issue 1-2, 1996, Pages 54-58

  Ritala, Mikko ^a   Saloniemi, Heini ^a   Leskelä, Markku ^a   Prohaska, Thomas ^b   Friedbacher, Gernot ^b   Grasserbauer, Manfred ^b  

^a UNIVERSITY OF HELSINKI   (Finland)

^b VIENNA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Austria)

Author keywords

Aluminium oxide; Atomic force microscopy; Epitaxy; Surface morphology

Indexed keywords

AGGLOMERATION; ALUMINA; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; EPITAXIAL GROWTH; MORPHOLOGY; SURFACES;

ATOMIC LAYER EPITAXY; POLYCRYSTALLINE FILMS; ROOT-MEAN-SQUARE ROUGHNESS;

THIN FILMS;

EID: 0030233425     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0040-6090(95)08524-6     Document Type: Article

References (21)

1. M. Leskelä and L. Niinistö, in T. Suntola and M. Simpson (eds.), Atomic Layer Epitaxy, Blackie and Son Ltd., Glasgow, 1990, p. 1.
2. T. Suntola, Mater. Sci. Rep., 4 (1989) 261.
3. T. Suntola, Thin Solid Films, 216 (1992) 84.
4. M. Ritala, M. Leskelä, L.-S. Johansson and L. Niinistö, Thin Solid Films, 228 (1993) 32.
5. M. Ritala, M. Leskelä, L. Niinistö, T. Prohaska, G. Friedbacher and M. Grasserbauer, Thin Solid Films, 250 (1994) 72.
6. M. Ritala, Ann. Acad. Sci. Fenn., Ser. A2, 257 (1994) 1.
7. M. Ritala, M. Leskelä and E. Rauhala, Chem. Mater., 6 (1994) 556.
8. M. Ritala, M. Leskelä, L. Niinistö and P. Haussalo, Chem. Mater., 5 (1993) 1174.
9. M. Ritala and M. Leskelä, Appl. Surf. Sci., 75 (1994) 333.
10. M. Ritala, M. Leskelä, L. Niinistö, T. Prohaska, G. Friedbacher and M. Grasserbauer, Thin Solid Films, 249 (1994) 155.
11. K. Kukli, M. Ritala and M. Leskelä, J. Electrochem. Soc., 142 (1995) 1670.
12. T. Suntola, J. Antson, A. Pakkala and S. Lindfors, SID 80 Digest, 11 (1980) 108.
13. L. Niinistö and M. Leskelä, Appl. Surf. Sci., 82/83 (1994) 454.
14. J. Aarik, A. Aidla, A. Jaek, A.-A. Kiisler and A.-A. Tammik, Acta Polytechn. Scand. Chem. Technol. Metall. Ser., 195 (1990) 201.
15. L. Hiltunen, H. Kattelus, M. Leskelä, L. Niinistö, E. Nykänen, P. Soininen and M. Tiitta, Mater. Chem. Phys., 28 (1991) 379.
16. H. Kattelus, M. Ylilammi, J. Saarilahti, J. Antson and S. Lindfors, Thin Solid Films, 225 (1993) 296.
17. T. Suntola, SID 81 Digest, 12 (1981) 20.
18. H. Antson, M. Grassebauer, M. Hamilo, L. Hiltunen, T. Koskinen, M. Leskelä, L. Niinistö, G. Stingeder and M. Tammenmaa, Fres. Z. Anal. Chem., 322 (1985) 175.
19. M. Ylilammi and T. Ranta-aho, Thin Solid Films, 232 (1993) 56.
20. G. Meyer and N.M. Amer, Appl. Phys. Lett., 53 (1988) 2400.
21. T.R. Albrecht, S. Akamine, T.E. Carver and C.F. Quate, J. Vac. Sci. Technol., A8 (1990) 3386.