Degradation of NiCr/CuNiMn/NiCr films on alumina substrates

Thin Solid Films

Volumn 280, Issue 1-2, 1996, Pages 227-232

  Bruckner W ^a   Edelmann, J ^a   Vinzelberg, H ^a   Reiss, G ^a   Knuth, Th ^b  

^a IFW DRESDEN   (Germany)

^b Microtech GmbH   (Germany)

Author keywords

Alloys; Electrical properties and measurements; Stress; Structural properties

Indexed keywords

ALUMINA; ANNEALING; CARRIER CONCENTRATION; DEGRADATION; ELECTRIC PROPERTIES; ELECTRIC VARIABLES MEASUREMENT; NICKEL ALLOYS; STRESS CONCENTRATION; SUBSTRATES; SURFACE ROUGHNESS; THICKNESS MEASUREMENT;

AGING DRIFT; COPPER NICKEL MANGANESE ALLOYS; FILM STRUCTURE; NICKEL CHROMIUM ALLOYS; STRUCTURAL PROPERTIES;

METALLIC FILMS;

EID: 0030191128     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/0040-6090(95)08209-3     Document Type: Article

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