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Volumn 16, Issue 6, 1996, Pages 833-838

Fabrication errors analysis and simulation of binary optical element

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COMPUTER SIMULATION; DIFFRACTION GRATINGS; ERROR ANALYSIS; ETCHING;

EID: 0030173315     PISSN: 02532239     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
Times cited : (11)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.