Process optimization for the fabrication of Tl2Ba2Ca2Cu3O10 thin films

Journal of Materials Research

Volumn 11, Issue 6, 1996, Pages 1349-1366

  Holstein, W L ^a   Parisi, L A ^a,b  

^a DUPONT COMPANY   (United States)

^b DuPont Photomasks Inc   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; FILM PREPARATION; HEAT RESISTANCE; HIGH TEMPERATURE OPERATIONS; LATTICE CONSTANTS; MAGNETRON SPUTTERING; OPTIMIZATION; OXIDE SUPERCONDUCTORS; PHASE COMPOSITION; SUPERCONDUCTING TRANSITION TEMPERATURE; SURFACE PROPERTIES;

LOW MICROWAVE SURFACE RESISTANCE; ORDERED INTERGROWTH PHASE; PROCESS OPTIMIZATION; THALLINATION; THALLIUM BARIUM CALCIUM CUPRATES;

SUPERCONDUCTING FILMS;

EID: 0030170991     PISSN: 08842914     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1557/JMR.1996.0171     Document Type: Article

References (69)

1. Z. Z. Sheng and A. M. Hermann, Nature (London) 332, 138 (1988).
2. M. A. Subramanian, C. C. Torardi, J. Gopalkrishnan, P. L. Gai, J. C. Calabrese, T. R. Askew, R. B. Flippen, and A. W. Sleight, Science 242, 249 (1988).
3. C. C. Torardi, in Chemistry of Superconducting Materials, edited by T. A. Vanderah (Noyes, Park City, NJ, 1992), pp. 485-544.
4. c Superconducting Copper Oxides (Springer-Verlag, Berlin, 1991).
5. M-J. Tsai, S. F. Wu, Y. T. Huang, and S. W. Lu, Physica C 198, 125 (1992).
6. T. Kaneko, K. Hamada, S. Adachi, and H. Yamauchi, Physica C 197, 385 (1992).
7. R. S. Liu, J. L. Tallon, and P. P. Edwards, Physica C 182, 119 (1991).
8. R. S. Liu, M. Hervieu, C. Michel, B. Raveau, and P. P. Edwards, J. Solid State Chem. 100, 186 (1992).
9. M. A. Subramanian, J. B. Parise, J. C. Calabrese, C. C. Torardi, J. Gopalkrishnan, and A. W. Sleight, J. Solid State Chem. 77, 192 (1988).
10. R. S. Liu, S. F. Hu, D. A. Jefferson, and P. P. Edwards, Physica C 198, 318 (1992).
11. D. H. Kim, K. E. Gray, R. T. Kampwirth, J. C. Smith, D. S. Richeson, T. J. Marks, J. H. Kang, J. Talvacchio, and M. Eddy, Physica C 177, 431 (1991).
12. M. A. Subramanian, J. C. Calabrese, C. C. Torardi, J. Gopalkrishnan, T. R. Askew, R. B. Flippen, K. J. Morissey, U. Chowdhry, and A. W. Sleight, Nature (London) 332, 420 (1988).
13. W. L. Holstein, L. A. Parisi, C. Wilker, and R. B. Flippen, Appl. Phys. Lett. 60, 2014 (1992).
14. W. L. Holstein, L. A. Parisi, Z-Y. Shen, C. Wilker, M. S. Brenner, and J. S. Martens, J. Supercond. 6, 191 (1993).
15. W. L. Holstein, C. Wilker, D. B. Laubacher, D. W. Face, P. Pang, M. S. Warrington, C. F. Carter, and L. A. Parisi, J. Appl. Phys. 74, 1426 (1993).
16. C. Wilker, Z-Y. Shen, D. W. Face, W. L. Holstein, A. L. Matthews, and D. B. Laubacher, IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 39, 1462 (1991).
17. D. B. Laubacher, Z-Y. Shen, P. S. Pang, C. Wilker, and W. L. Holstein, Advances in Superconductivity IV, edited by H. Hayakawa and N. Koshizuka (Springer-Verlag, Tokyo, 1992), pp. 953-956.
18. R. G. Dorothy, D. W. Face, W. L. Holstein, C. Wilker, Z-Y. Shen, and D. B. Laubacher, in Advances in Superconductivity III, edited by K. Kajimura and H. Hayakawa, (Springer-Verlag, Tokyo, 1991), pp. 1175-1178.
19. J. Chrzanowski, X. M. Burany, A. E. Curzon, J. C. Irwin, B. Heinrich, N. Fortier, and A. Cragg, Physica C 207, 25 (1993).
20. S. Adachi, H. Adachi, Y. Ichikawa, K. Setsune, and K. Wasa, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1110 (1991).
21. M. Hong, S. H. Liou, D. D. Bacon, G. S. Grader, J. Kwo, A. R. Krotan, and B. A. Davidson, Appl. Phys. Lett. 53, 2102 (1988).
22. C. H. Chen, M. Hong, D. J. Werder, J. Kwo, S. H. Liou, and D. D. Bacon, Appl. Phys. Lett. 54, 1579 (1989).
23. R. J. Lin and P. T. Wu, Jpn. J. Appl. Phys. 28, L85 (1989).
24. M. L. Chu, H. L. Chang, C. Wang, J. Y. Juang, T. M. Uen, and Y. S. Gou, Appl. Phys. Lett. 59, 1123 (1991).
25. W. Y. Lee, S. M. Garrison, M. Kawasaki, E. L. Venturini, B. T. Ahn, R. Beyers, J. Salem, R. Savoy, and J. Vazquez, Appl. Phys. Lett. 60, 772 (1992).
26. W. Y. Lee, V. Y. Lee, J. Salem, T. C. Huang, R. Savoy, D. C. Bullock, and S. S. P. Parkin, Appl. Phys. Lett. 53, 329 (1988).
27. W. Y. Lee, J. Vazquez, T. C. Huang, and R. Savoy, J. Appl. Phys. 70, 3952 (1991).
28. C. Y. Wu, F. Foong, S. H. Liou, J. C. Ho, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1205 (1993).
29. T. Nabatame, Y. Saito, K. Aihara, T. Kamo, and S-P. Matsuda, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L1813 (1990).
30. B. Johs, D. Thompson, N. J. Ianno, J. A. Woolam, S. H. Liou, A. M. Hermann, Z. Z. Sheng, W. Kiehl, A. Shams, X. Fei, L. Sheng, and Y. H. Liu, Appl. Phys. Lett. 54, 1810 (1989).
31. H. C. Lai, K. D. Vernon-Parry, J. D. Chern, and C. R. M. Grovenor, Supercond. Sci. Technol. 4, 306 (1991).
32. J. F. Kwak, D. S. Ginley, E. L. Venturini, B. Morosin, R. J. Baughman, J. C. Barbour, and M. O. Eatough, in Studies of High Temperature Superconductors, edited by A. Narlikar (Nova Science Publishers, New York, 1991), Vol. 7, pp. 45-73.
33. D. S. Ginley, J. F. Kwak, R. P. Hellmer, R. J. Baughman, E. L. Venturini, M. A. Mitchell and B. Morosin, Physica C 156, 592 (1988).
34. R. Sugise, M. Hirabayahsi, N. Terada, M. Jo, F. Kawashima, and H. Ihara, Jpn. J. Appl. Phys. 27, L2310 (1988).
35. Y. Q. Tang, Z. Z. Sheng, Z. Y. Chen, Y. F. Li, and D. O. Pederson, Supercond. Sci. Technol. 5, 538 (1992).
36. J. A. DeLuca, M. F. Garbauskas, R. B. Bolon, J. G. McMullen, W. E. Balz, and P. L. Karas, J. Mater. Res. 6, 1415 (1991).
37. A. Naziripour, C. Cong, J. W. Drexler, A. B. Swartzlander, A. J. Nelson, and A. M. Hermann, J. Appl. Phys. 70, 6495 (1991).
38. W. L. Holstein, Appl. Supercond. 2, 345 (1994).
39. D. S. Ginley, J. S. Martens, E. L. Venturini, C. P. Tigges, C. Ashby, and S. Volk, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1201 (1993).
40. W. L. Holstein, L. A. Parisi, C. Wilker, and R. B. Flippen, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1197 (1993).
41. T. L. Aselage, E. L. Venturini, and S. B. van Deusen, J. Appl. Phys. 75, 1023 (1994).
42. T. L. Aselage, E. L. Venturini, S. B. van Deusen, T. J. Headley, M. O. Eatough, and J. A. Voigt, Physica C 203, 25 (1992).
43. T. L. Aselage, J. A. Voigt, and K. D. Keefer, J. Am. Ceram. Soc. 73, 3345 (1990).
44. W. L. Holstein, J. Phys. Chem. 97, 4224 (1993).
45. W. L. Holstein, J. Chem. Thermodynamics 25, 1287 (1993).
46. J. D. Doss, D. W. Cooke, C. W. McCabe, and M. E. Maez, Rev. Sci. Instrum. 59, 659 (1988).
47. C. Wilker, Z-Y. Shen, V. X. Nguyen, and M. S. Brenner, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1457 (1993).
48. D. W. Face and J. P. Nestlerode, Appl. Phys. Lett. 61, 1838 (1992).
49. D. W. Face and J. P. Nestlerode, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 1516 (1993).
50. K. Meyers, D. W. Face, D. J. Kountz, and J. P. Nestlerode, Appl. Phys. Lett. 65, 490 (1994).
51. B. T. Ahn, W. Y. Lee, and R. Beyers, Appl. Phys. Lett. 60, 2150 (1992).
52. S. S. P. Parkin, V. Y. Lee, A. I. Nazzai, R. Savoy, and R. Beyers, Phys. Rev. Lett. 61, 750 (1988).
53. M. Kikuchi, T. Kajitani, T. Suzuki, S. Nakajima, K. Hiraga, N. Kobayashi, H. Iwasaki, and Y. Syono, Jpn. J. Appl. Phys. 28, L382 (1989).
54. R. S. Liu, D. J. Johnson, P. P. Edwards, and A. M. Campbell, Solid State Commun. 79, 43 (1991).
55. R. S. Liu and P. P. Edwards, Physica C 179, 353 (1991).
56. P. E. D. Morgan, T. Doi, R. M. Housley, and J. R. Porter, in Advances in Superconductivity V, edited by Y. Bando and H. Yamauchi (Springer-Verlag, Tokyo, 1993), pp. 391-394.
57. P. E. D. Morgan, R. M. Housely, and J. J. Ratto, Physica C 176, 279 (1991).
58. P. E. D. Morgan, J. Piche, and R. M. Housely, Physica C 191, 179 (1992).
59. B. Morosin, E. L. Venturini, and D. S. Ginley, Physica C 175, 241 (1991).
60. D. M. Ogborne, M. T. Weller, and P. C. Lanchester, Physica C 200, 167 (1992).
61. T. Kaneko, H. Yamauchi, and S. Tanaka, Physica C 178, 377 (1991).
62. W. L. Holstein and L. A. Parisi, in Layered Superconductors: Fabrication, Properties, and Applications, edited by D. T. Shaw, C. C. Tsui, T. R. Schneider, and Y. Shiohara (Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 275, Pittsburgh, PA, 1992), pp. 341-346.
63. W. L. Holstein, L. A. Parisi, C. R. Fincher, and P. L. Gai, Physica C 212, 110 (1993).
64. W. L. Holstein, J. Appl. Phys. 74, 4963 (1993).
65. M. R. Presland, J. L. Tallon, R. G. Buckly, R. S. Liu, and N. E. Flower, Physica C 176, 95 (1991).
66. Y. Shimakawa, Y. Kubo, T. Manako, and H. Igarashi, Phys. Rev. B 40, 11400 (1989).
67. T. Kaneko, K. Hamada, S. Adachi, H. Yamauchi, and S. Tanaki, in Advances in Superconductivity IV, edited by H. Hayakawa and N. Koshizuka (Springer-Verlag, Tokyo, 1992), pp. 179-182.
68. J. S. Martens, in Thallium-Based High Temperature Superconductors, edited by A. M. Hermann and J. V. Yakhmi (Marcel Dekker, New York, 1994), pp. 289-312.
69. W. L. Holstein, C. Wilker, P. S. W. Pang, D. B. Laubacher, S. P. McKenna, and D. W. Face, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 1693 (1995).