메뉴 건너뛰기




Volumn 2, Issue 2, 1996, Pages 75-77

Thin Films of Early Transition Metal Monophosphides

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL RESISTANCE; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; FABRICATION; FILM PREPARATION; PHOSPHORUS COMPOUNDS; RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; STRUCTURE (COMPOSITION); THERMODYNAMIC STABILITY; TRANSITION METAL COMPOUNDS; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

EID: 0030107545     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/cvde.19960020209     Document Type: Article
Times cited : (4)

References (35)
  • 1
    • 0024739651 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1989) Angew. Chem., Int. Ed. Engl. , vol.28 , pp. 1208
    • Cowley, A.H.1    Jones, R.A.2
  • 2
    • 0002572679 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1991) Organometallics , vol.10 , pp. 652
    • Cowley, A.H.1    Harris, P.R.2    Jones, R.A.3    Nunn, C.M.4
  • 3
    • 0001035499 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1994) Polyhedron , vol.13 , pp. 1131
    • Buhro, W.E.1
  • 4
    • 0012606323 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1989) J. Chem. Soc., Chem. Commun. , pp. 359
    • Healy, M.D.1    Laibinis, P.E.2    Stupik, P.D.3    Barron, A.R.4
  • 5
    • 0001270184 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1993) Organometallics , vol.12 , pp. 2832
    • Wells, R.L.1    Self, M.F.2    McPhail, A.T.3    Aubuchon, S.R.4    Woudenberg, R.C.5    Jasinski, J.P.6
  • 6
    • 0342746200 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1993) Inorg. Chem. , vol.32 , pp. 5394
    • Naiini, A.A.1    Han, Y.2    Akinc, M.3    Verkade, J.G.4
  • 7
    • 0001363485 scopus 로고
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1991) Chem. Mater. , vol.3 , pp. 379
    • Stuczynski, S.M.1    Opila, R.L.2    Marsh, P.3    Brennan, J.G.4    Steigerwald, M.L.5
  • 8
    • 0024739651 scopus 로고
    • Blackie, Glasgow
    • For selected leading references, see: A. H. Cowley, R. A. Jones, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1208. A. H. Cowley, P. R. Harris, R. A. Jones, C. M. Nunn, Organometallics 1991, 10, 652. W. E. Buhro, Polyhedron 1994, 13, 1131. M. D. Healy, P. E. Laibinis, P. D. Stupik, A. R. Barron, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 359. R. L. Wells, M. F. Self, A. T. McPhail, S. R. Aubuchon, R. C. Woudenberg, J. P. Jasinski, Organometallics 1993, 12, 2832. A. A. Naiini, Y. Han, M. Akinc, J. G. Verkade, Inorg. Chem. 1993, 32, 5394. S. M. Stuczynski, R. L. Opila, P. Marsh, J. G. Brennan, M. L. Steigerwald, Chem. Mater. 1991, 3, 379. Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium (Ed: A. J. Downs), Blackie, Glasgow 1993.
    • (1993) Chemistry of Aluminum, Gallium, Indium and Thallium
    • Downs, A.J.1
  • 9
    • 0000765347 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1994) Polyhedron , vol.13 , pp. 1169
    • Hoffman, D.M.1
  • 10
    • 33751500052 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1994) Chem. Mater. , vol.3 , pp. 1138
    • Fix, R.1    Gordon, R.G.2    Hoffman, D.M.3
  • 11
    • 0024607862 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1989) J. Electrochem. Soc. , vol.136 , pp. 472
    • Interrante, L.V.1    Lee, W.2    McConnell, M.3    Lewis, N.4    Hall, E.5
  • 12
    • 0025956024 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1991) J. Mater. Res. , vol.6 , pp. 5
    • Gordon, R.G.1    Hoffman, D.M.2    Riaz, U.3
  • 13
    • 0000061857 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1994) Chem. Mater. , vol.6 , pp. 190
    • Frigo, D.M.1    Van Eijden, G.J.M.2    Reuvers, P.J.3    Smit, C.J.4
  • 14
    • 0000765347 scopus 로고
    • For selected leading references, see: D. M. Hoffman, Polyhedron 1994, 13, 1169. R. Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1994, 3, 1138. L. V. Interrante, W. Lee, M. McConnell, N. Lewis, E. Hall, J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 472. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, J. Mater. Res. 1991, 6, 5. D. M. Frigo, G. J. M. van Eijden, P. J. Reuvers, C. J. Smit, Chem. Mater. 1994, 6, 190. R. G. Gordon, D. M. Hoffman, U. Riaz, Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1991, 204, 95.
    • (1991) Mater. Res. Soc., Symp. Proc. , vol.204 , pp. 95
    • Gordon, R.G.1    Hoffman, D.M.2    Riaz, U.3
  • 15
    • 2342648537 scopus 로고    scopus 로고
    • Jpn. Patent JP 02 248 079, 1990
    • K. Komaki, Jpn. Patent JP 02 248 079, 1990.
    • Komaki, K.1
  • 16
    • 2342539439 scopus 로고    scopus 로고
    • Jpn. Patent JP 63 103 039, 1988. Kubota Ltd., Japanese Patent JP 59 107 973, 1984
    • H. Ootsuki, K. Akutagawa, J. Hasegawa, Jpn. Patent JP 63 103 039, 1988. Kubota Ltd., Japanese Patent JP 59 107 973, 1984.
    • Ootsuki, H.1    Akutagawa, K.2    Hasegawa, J.3
  • 17
    • 2342596816 scopus 로고    scopus 로고
    • Jpn. Patent JP 02 107 569, 1990
    • K. Ishikawa, Jpn. Patent JP 02 107 569, 1990.
    • Ishikawa, K.1
  • 25
    • 84919202304 scopus 로고
    • W. Biltz, A. Rink, F. Wiechmann, Z. Anorg. Allg. Chem. 1938, 238, 395. J. Gewecke, Ann. 1928, 361, 79.
    • (1928) Ann. , vol.361 , pp. 79
    • Gewecke, J.1
  • 27
    • 2342563458 scopus 로고    scopus 로고
    • Jpn. Patent JP 02 150 067, 1990
    • K. Komaki, Jpn. Patent JP 02 150 067, 1990.
    • Komaki, K.1
  • 29
    • 26344450532 scopus 로고
    • Y. Sasaki, M. Hirohashi, Denki Kagaku Oyobi Kogyo Butsuri Kagaku 1984, 52, 203 (Chem. Abstr. 1984, 101, 32381v). M. Sasaki, K. Kakegawa, Y. Sasaki, Denki Kagaku Oyobi Kogyo Butsuri Kagaku 1987, 55, 261.
    • (1984) Chem. Abstr. , vol.101


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.