메뉴 건너뛰기





Volumn , Issue , 1996, Pages 384-388

Bistable microvalve with pneumatically coupled membranes

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACTUATORS; ELECTRODES; ELECTROSTATIC DEVICES; LITHOGRAPHY; MEMBRANES; PNEUMATIC DRIVES; SEMICONDUCTING SILICON; SILICA;

EID: 0029755925     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
Times cited : (77)

References (12)
  • Reference 정보가 존재하지 않습니다.

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.