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Volumn 2687, Issue , 1996, Pages 53-59

Actuation of polysilicon surface-micromachined mirrors

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ELECTROSTATIC COMB-DRIVE ACTUATORS; LINEAR VIBROMOTERS; POLYSILICON SURFACE-MICROMACHINED ACTUATORS;

EID: 0029717163     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.