메뉴 건너뛰기





Volumn , Issue , 1988, Pages 1-4

LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography.

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTROFORMING; LITHOGRAPHY; METALS AND ALLOYS -- PROCESSING; PLASTICS -- PROCESSING; X-RAYS -- APPLICATIONS;

EID: 0024133520     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
Times cited : (44)

References (6)
  • Reference 정보가 존재하지 않습니다.

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.