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Volumn 158, Issue 1, 1988, Pages 141-149

Pressure stability in reactive magnetron sputtering

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INDIUM COMPOUNDS - THIN FILMS; SUBSTRATES;

EID: 0023978719     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/0040-6090(88)90310-0     Document Type: Article
Times cited : (64)

References (16)
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.