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Volumn , Issue , 1978, Pages 233-240

ELECTROMIGRATION OF Al-Si ALLOY FILMS.

(1)  Black, James R a  

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SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE;

EID: 0017911414     PISSN: 00999512     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper
Times cited : (29)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.