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Volumn 42, Issue 13, 1971, Pages 5680-5688

Plastic deformation in central regions of epitaxial silicon slices

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EPITAXIAL SILICON;

EID: 0015198658     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1659999     Document Type: Article
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References (23)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.