Diffusion modeling of zinc implanted into GaAs

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 4, 1997, Pages 1670-1676

  Chase, Michael P ^a   Deal, Michael D ^a   Plummer, James D ^a  

^a Stanford University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013459961     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364024     Document Type: Article

References (26)

1. B. Blanchard, L. Pavesi, G. Burri, D. Araujo, and F. K. Reinhart, J. Appl. Phys. 73, (1993).
2. T. Y. Tan, U. Gösele, and S. Yu, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 17, 47 (1991).
3. T. Y. Tan and U. Gösele, Mater. Sci. Eng. B1, 47 (1988).
4. W. D. Laidig, N. Holonyak, Jr., M. D. Camras, K. Hess, J. J. Colman, P. D. Dapkus, and J. Bardeen, Appl. Phys. Lett. 38, 776 (1981).
5. S. Yu, T. Y. Tan, and U. Gösele, J. Appl. Phys. 69, 3547 (1991).
6. U. Gösele and F. Morehead, J. Appl. Phys. 52, 4617 (1981).
7. L. R. Weisberg and J. Blanc, Phys. Rev. 131, 1548 (1963).
8. F. A. Cunnell and C. H. Gooch, J. Phys. Chem. Solids 15, 127 (1960).
9. N. Nordell, P. Ojala, W. H. Van Berlo, and G. Landgrent, J. Appl. Phys. 67, 778 (1990).
10. M. D. Deal and H. G. Robinson, Appl. Phys. Lett. 55, 996 (1989).
11. J. J. Murry, M. D. Deal, and D. A. Stevenson, Appl. Phys. Lett. 56, 472 (1990).
12. C. C. Lee, M. D. Deal, and J. C. Bravman, Appl. Phys. Lett. 64, 3302 (1994).
13. C. C. Lee, M. D. Deal, K. S. Jones, H. G. Robinson, and J. C. Bravman, J. Electrochem. Soc. 141, 2245 (1994).
14. R. L. Longini, Solid-State Electron. 5, 127 (1962).
15. F. C. Frank and D. Turnbull, Phys. Rev. 104, 617 (1956).
16. W. Shockley and J. T. Last, Phys. Rev. 107, 392 (1957).
17. W. Shockley and J. L. Moll, Phys. Rev. 119, 1480 (1957).
18. Y. M. Haddara, M. D. Deal, and H. G. Robinson, Proc. SOTAPOCS XXI, 96 (1995).
19. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
20. H. G. Robinson, Ph.D. thesis, Stanford University, 1992.
21. H. G. Robinson, M. D. Deal, G. Amaratunga, P. B. Griffin, D. A. Stevenson, and J. D. Plummer, J. Appl. Phys. 71, 2615 (1992).
22. J. C. Hu, M. D. Deal, and J. D. Plummer, J. Appl. Phys. 78, 1595 (1995).
23. J. C. Hu, M. D. Deal, and J. D. Plummer, J. Appl. Phys. 78, 1606 (1995).
24. H. C. Robertson, M. D. Deal, and D. A. Stevenson, Appl. Phys. Lett. 58, 2800 (1991).
25. M. A. H. Kadim and B. Tuck, J. Mater. Sci. 7, 68 (1972).
26. B. Tuck and M. A. H. Kadim. J. Mater. Sci. 7, 585 (1972).