Si ion implantation-induced damage in fused silica probed by variable-energy positrons

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 12, 1996, Pages 9022-9028

  Knights, A P ^a   Simpson, P J ^a   Allard, L B ^b   Brebner, J L ^b   Albert, J ^c  

^a UNIVERSITY OF WESTERN ONTARIO   (Canada)

^b UNIVERSITÉ DE MONTRÉAL   (Canada)

^c Industry Canada   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013360439     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362579     Document Type: Article

References (33)

1. M. Verhaegen, L. B. Allard, J. L. Brebner, M. Essid, S. Roorda, and J. Albert, Nucl. Instrum. Methods B (to be published) .
2. J. Albert, K. O. Hill, B. Malo, D. C. Johnson, J. L. Brebner, Y. B. Trudeau, and G. Kajrys, Appl. Phys. Lett. 60, 148 (1992).
3. V. Mizrahi, P. J. Lemaire, T. Erdogan, W. A. Reed, D. J. DiGiovanni, and R. M. Atkins, Appl. Phys. Lett. 63, 1727 (1993).
4. B. Malo, F. Bilodeau, J. Albert, D. C. Johnson, K. O. Hill, Y. Hibino, and M. Abe, Proc. SPIE 2044, 42 (1993).
5. P. J. Schultz and K. G. Lynn, Rev. Med. Phys. 60, 701 (1988).
6. P. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, and D. O. Welch, J. Appl. Phys. 76, 4935 (1994).
7. M. Fujinami and N. B. Chilton, Appl. Phys. Lett. 62, 1131 (1993).
8. A. Uedono, T. Kawano, S. Tanigawa, and H. Itoh, J. Phys. Condens. Matter 6, 8669 (1994).
9. M. Fujinami and N. B. Chilton, Appl. Phys. Lett. 64, 2806 (1994).
10. M. Hasegawa, M. Tabata, T. Miyamoto, Y. Nagashima, T. Hyodo, M. Fujinami, and S. Yamaguchi, Mater. Sci. Forum 175-178, 269 (1995).
11. R. Khatri, P. Asoka-Kuma, B. Nielsen, L. O. Roellig, and K. G. Lynn, Appl. Phys. Lett. 63, 385 (1993).
12. P. Hautojärvi and A. Vehanen, in Positrons in Solids, edited by P. Hautojärvi (Springer, Berlin, 1979).
13. P. J. Schultz, Nucl. Instrum. Methods B 30, 94 (1988).
14. S. Valkealahti and R. M. Nieminen, Appl. Phys. A 35, 51 (1984).
15. S. Dannefaer, T. Bretagnon, and D. Kerr, J. Appl. Phys. 74, 885 (1993).
16. S. Dannefaer, Phys. Status Solidi A 102, 481 (1987).
17. G. C. Aers, in Positron Beams for Solids and Surfaces, The Proceedings of the Fourth International Workshop, edited by P. J. Schultz, G. R. Massoumi, and P. J. Simpson, AIP Conference Proceedings 218 (AIP, New York, 1991).
18. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1985).
19. E. P. Eernisse and C. B. Norris, J. Appl. Phys. 45, 5196 (1974).
20. D. L. Griscom, Nucl. Instrum. Methods B 1, 481 (1984).
21. D. L. Griscom, J. Non-Cryst. Solids 73, 51 (1985).
22. D. B. Kerwin and F. L. Galeener, Phys. Rev. Lett. 68, 3208 (1992).
23. J. Albert, B. Malo, K. O. Hill, D. C. Johnson, J. L. Brebner, and R. Leonelli, Opt. Lett. 17, 1652 (1992).
24. L. N. Skuja and A. R. Silin, Phys. Status Solidi A 56, K11 (1979).
25. J. H. Stathis and M. A. Kastner, Philos. Mag 49, 357 (1984).
26. S. Munekuni, T. Yamanaka, Y. Shimogaichi, R. Tohmon, Y. Ohki, K. Nagasawa, and Y. Hama, J. Appl. Phys. 68, 1212 (1990).
27. L. B. Allard and J. L. Brebner (unpublished).
28. P. Mascher, S. Dannefaer, and D. Kerr, Phys. Rev. B 40, 11 764 (1989).
29. W. Primak and R. Kampwith, J. Appl. Phys. 39, 5651 (1968).
30. B. Nielsen, O. W. Holland, T. C. Leung, and K. G. Lynn, J. Appl. Phys. 74, 1636 (1993).
31. P. J. Simpson, M. Vos, I. V. Mitchell, C. Wu, and P. J. Schultz, Phys. Rev. B 44, 12 180 (1991).
32. E. P. Eernisse, J. Appl. Phys. 45, 167 (1974).
33. T. A. Dellin, D. A. Tichenor, and E. H. Barsis, J. Appl. Phys. 48, 1131 (1977).