Absolute distance interferometry using variable synthetic wavelength;Absolute Distanzinterferometrie mit variabler synthetischer Wellenlänge

Technisches Messen

Volumn 63, Issue 1, 1996, Pages 5-13

  Salewski, Klaus Dieter ^a   Bechstein, Karl Heinz ^b   Wolfram, Andreas ^a   Fuchs, Werner ^b  

^a UNIVERSITY OF GREIFSWALD   (Germany)

^b CARL ZEISS SMT AG   (Germany)

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EID: 0013060356     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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