Role of hydrogen surface coverage during anodic plasma deposition of hydrogenated nanocrystalline germanium

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 6, 1998, Pages 3386-3391

  Poulsen, Per R ^a   Wang, Mingxiang ^a   Xu, Jun ^a   Li, Wei ^a   Chen, Kunji ^a   Wang, Guanghou ^a   Feng, Duan ^a  

^a NANJING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0012200320     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368497     Document Type: Article

References (28)

1. J. Jiang, K. Chen, D. Feng, and D. Sun, Thin Solid Films 230, 7 (1993).
2. S. Usui and M. Kikuchi, J. Non-Cryst. Solids 34, 1 (1979); T. Hamasaki, H. Kurata, M. Hirose, and Y. Osaka, Appl. Phys. Lett. 37, 1084 (1980).
3. S. Usui and M. Kikuchi, J. Non-Cryst. Solids 34, 1 (1979); T. Hamasaki, H. Kurata, M. Hirose, and Y. Osaka, Appl. Phys. Lett. 37, 1084 (1980).
4. A. Matsuda, J. Non-Cryst. Solids 59&60, 767 (1983).
5. S. Veprek, F. Glatz, and R. Konwitschny, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 779 (1991); S. Veprek, M. G. J. Veprek-Heijman, O. Ambacher, M. Rückschloss, F. Glatz, and R. Konwitschny, J. Phys. III 2, 1431 (1992).
6. S. Veprek, F. Glatz, and R. Konwitschny, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 779 (1991); S. Veprek, M. G. J. Veprek-Heijman, O. Ambacher, M. Rückschloss, F. Glatz, and R. Konwitschny, J. Phys. III 2, 1431 (1992).
7. F. H. Karg, H. Böhm, and K. Pierz, J. Non-Cryst. Solids 114, 477 (1989).
8. W. A. Turner, S. J. Jones, D. Pang, B. F. Bateman, J. H. Chen, Y.-M. Li, F. C. Marques, A. E. Wetsel, P. Wickboldt, W. Paul, J. Bodart, R. E. Norberg, I. El Zawawi, and M. L. Theye, J. Appl. Phys. 67, 7430 (1990).
9. P. Wickboldt, D. Pang, and W. Paul, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 336, 547 (1994).
10. H. Shirai, K. Nakamura, J. Hanna, and I. Shimizu, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 653 (1991).
11. P. Joubert, B. Loisel, Y. Chouan, and L. Haji, J. Electrochem. Soc. 134, 2541 (1987).
12. C. Godet, I. El Zawawi, M. L. Theye, M. Gauthier, and J. P. Stoquert, Solid State Commun. 74, 721 (1990).
13. P. R. Poulsen, M. X. Wang, J. Xu, W. Li, K. J. Chen, G. H. Wang, and D. Feng, Thin Solid Films (submitted).
14. R. Swanepoel, J. Phys. E 16, 1214 (1983).
15. C. J. Fang, K. J. Gruntz, L. Ley, M. Cardona, F. J. Demond, G. Müller, and S. Kalbitzer, J. Non-Cryst. Solids 35&36, 255 (1980).
16. M. Cardona, Phys. Status Solidi B 118, 463 (1983).
17. I. H. Campbell and P. M. Fauchet, Solid State Commun. 58, 739 (1986).
18. M. Wakagi, T. Kaneko, K. Ogata, and A. Nakano, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 283, 555 (1993).
19. D. Beeman, R. Tsu, and M. F. Thorpe, Phys. Rev, B 32, 874 (1985).
20. D. Martin, B. Schroeder, M. Leidner, and H. Oechsner, J. Non-Cryst. Solids 114, 537 (1989).
21. C. C. Tsai, G. B. Anderson, B. Wacker, R. Thompson, and C. Doland, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 149, 297 (1989).
22. C. C. Tsai, R. Thompson, C. Doland, F. A. Ponce, G. B. Anderson, and B. Wacker, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 118, 49 (1988).
23. N. Shibata, K. Fukuda, H. Ohtoshi, J. Hanna, S. Oda, and I. Shimizu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 95, 225 (1987).
24. Y. S. Tsuo, Y. Xu, E. A. Ramsay, R. S. Crandall, S. J. Salamon, I. Balberg, B. P. Nelson, Y. Xiao, and Y. Chen, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 219, 769 (1991).
25. S. Veprek, F.-A. Sarott, and M. Rückschloss, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 733 (1991).
26. H. Kakinuma, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2310 (1995).
27. JCPDS 1997 Powder Diffraction File No. 4-0545.
28. Y. Toyoshima, K. Arai, and A. Matsuda, J. Non-Cryst. Solids 114, 819 (1989).