Observation of boron doping induced surface roughening in silicon molecular beam epitaxy

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 23, 1996, Pages 3278-3280

  Lu, Xuekun ^a   Jiang, Zuimin ^a   Zhu, Haijun ^a   Zhang, Xiangjiu ^a   Wang, Xun ^a  

^a FUDAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0010482332     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116573     Document Type: Article

References (22)

1. Z.-W. Lai and S. Das Sarma, Phys. Rev. Lett. AIP 66, 2348 (1991).
2. L.-H. Tang and T. Nattermann, Phys. Rev. Lett. AIP 66, 2899 (1991).
3. D. E. Wolf, Phys. Rev. Lett. AIP 67, 1783 (1991).
4. P. I. Tamborenea, Z.-W. Lai, and S. Das Sarma, Surf. Sci. INS 267, 1 (1992).
5. J. G. Amar and F. Family, Phys. Rev. E AIP 47, 1595 (1993).
6. G. Xue, H. Z. Xiao, M.-A. Hasen, J. E. Greene, and H. K. Birnbaum, J. Appl. Phys. AIP 74, 2512 (1993).
7. D. J. Eaglesham, H.-J. Gossmann, and M. Cerullo, Phys. Rev. Lett. AIP 65, 1227 (1990).
8. D. P. Adams, S. M. Yalisove, and D. J. Eaglesham, Appl. Phys. Lett. AIP 63, 3571 (1993).
9. Y.-N. Yang and E. D. Williams, J. Vac. Sci. Technol. A AIP 8, 2481 (1990).
10. D. J. Eaglesham, G. S. Higashi, and M. Cerullo, Appl. Phys. Lett. AIP 59, 685 (1991).
11. D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Phys. Rev. Lett. AIP 64, 1943 (1990).
12. N.-E. Lee and J. E. Greene, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 2459 (1995).
13. X. Lu, Z. Jiang, D. Huang, H. Zhu, X. Zhang, and X. Wang, J. Cryst. Growth INS 158, 169 (1996).
14. C. P. Parry, S. M. Newstead, R. D. Barlow, P. Augustus, R. A. A. Kubiak, M. G. Dowsett, T. E. Whall, and E. H. C. Parker, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 481 (1991).
15. C. P. Parry, R. A. Kubiak, S. M. Newstead, T. E. Whall, and E. H. C. Parker, J. Appl. Phys. AIP 71, 118 (1992).
16. H. H. Radamson, K. B. Joelsson, W.-X. Ni, L. Hultman, and G. V. Hansson, J. Cryst. Growth INS 157, 80 (1995).
17. A. Ishizaka and Y. Shiraki, J. Electrochem. Soc. INS 133, 666 (1986).
18. H.-J. Gossmann, E. F. Schubert, D. J. Eaglesham, and M. Cerullo, Appl. Phys. Lett. AIP 57, 2440 (1990).
19. K. D. Hobart, D. J. Godbey, P. E. Thompson, and D. S. Simons, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1115 (1993); Appl. Phys. Lett. 63, 1381 (1993); S. A. Barnett, H. F. Winters, and J. E. Greene, Surf. Sci. 165, 303 (1986).
20. Y. Wang, R. J. Hamers, and E. Kaxiras, Phys. Rev. Lett. AIP 74, 403 (1995).
21. J. Nogami, A. A. Baski, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 475 (1991).
22. D. J. Eaglesham, A. E. White, L. C. Feldman, N. Moriya, and D. C. Jacobson, Phys. Rev. Lett. AIP 70, 1643 (1993).