Planarization of epitaxial GaAs overgrowth over tungsten wires

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 1, 1996, Pages 500-507

  Wernersson, Lars Erik ^a   Georgsson, Kristina ^a   Litwin, Andrej ^a,b   Samuelson, Lars ^a   Seifert, Werner ^a  

^a LUND UNIVERSITY   (Sweden)

^b ERICSSON RADIO SYSTEMS AB   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0009053316     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.360857     Document Type: Article

References (12)

1. M. Kamp, R. Contini, K. Werner, H. Heinecke, M. Weyers, H. Luth, and P. Balk, J. Cryst. Growth 95, 154 (1989).
2. J. Shirakashi, T. Yamada, M. Qi, S. Nozaki, K. Takahashi, E. Tokumitsu, and M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1609 (1991).
3. T. P. Chin, P. D. Kirchner, J. M. Woodall, and C. W. Tu, Appl. Phys. Lett. 59, 2865 (1991).
4. K. Zhang, W. Hwang, D. L. Miller, and L. W. Kapitan, Appl. Phys. Lett. 63, 2399 (1993).
5. C. R. Abernathy, P. W. Wisk, S. J. Pearton, W. S. Hobson, P. H. Fuoss, F. J. Lamelas, S. N. G. Chu, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 60, 1339 (1992).
6. S. A. Stockman, A. W. Hanson, and G. E. Stillman, Appl. Phys. Lett. 60, 2903 (1992).
7. S. A. Stockman, A. W. Hanson, S. M. Lichtenthal, M. T. Fresina, G. E. Hofler, K. C. Hsieh, and G. E. Stillman, J. Electron. Mater. 21, 1111 (1992).
8. N. Pan, J. Carter, J. Elliott, H. Hendriks, S. Brierley, and K. C. Hsieh, Appl. Phys. Lett. 63, 3029 (1993).
9. M. Shimazu, H. Kimura, K. Kamon, T. Shirakawa, S. Murai, and K. Tada, Inst. Phys. Conf. Ser. No. 112, 173 (1990).
10. G. Neumann, Th. Lauterbach, M. Maier, and K. H. Bachem, Inst. Phys. Conf. Ser. No. 112, 167 (1990).
11. J. Bohrer, A. Krost, and D. B. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 63, 1918 (1993).
12. J. S. Roberts, J. P. R. David, T. E. Sale, and P. L. Tihanyi, J. Cryst. Growth 143, 135 (1994).