Ab initio-derived dynamics for F2 reactions with partially fluorinated Si(100) surfaces: Translational activation as a possible etching tool

Journal of Physical Chemistry

Volumn 100, Issue 2, 1996, Pages 873-887

  Carter, Lawrence E ^a   Carter, Emily A ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0008024867     PISSN: 00223654     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp952905i     Document Type: Article

References (53)

1. For a review of molecular beam studies on semiconductor surfaces, see: Yu, M.; DeLouise, L. A. Surf. Sci. Rep. 1994, 19, 289.
2. For example: (a) Giapis, K. P.; Moore, T. A.; Minton, T. K. J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 959.
3. (b) Levis, R. J.; Waltman, C. J.; Cousins, L. M.; Copeland, R. G.; Leone, S. R. J. Vac. Sci. Technol. A 1990, 8, 311.
4. (c) Ninomiya, K.; Suzuki, K.; Nishimatsu, S.; Okada, O. J. Appl. Phys. 1985, 58, 1177.
5. Joosten, G. P.; Vugts, M. J. M.; Spruijt, H. J.; Senhorst, H. A. J.; Beijerinck, H. C. W. J. Vac. Sci. Technol. A 1994, 12, 636.
6. Lo, C. W.; Varekamp, P. R.; Shuh, D. K.; Durbin, T. D.; Chakarian, V.; Yarmoff, J. A. Surf. Sci. 1993, 292, 171.
7. Lo, C. W.; Shuh, D. K.; Chakarian, V.; Durbin, T. D.; Varekamp, P. R.; Yarmoff, J. A. Phys. Rev. B 1993, 47, 15648.
8. Lo, C. W.; Shuh, D. K.; Yarmoff, J. A. J. Vac. Sci. Technol. A 1993, 11, 2054.
9. Haring, R. A.; Liehr, M. J. Vac. Sci. Technol. A 1992, 10, 802.
10. McFeely, F. R.; Morar, J. F.; Shinn, N. D.; Landgren, G.; Himpsel, F. J. Phys. Rev. B 1984, 30, 764.
11. Winters, H. F.; Coburn, J. W. Surf. Sci. Rep. 1992, 14, 161.
12. Engstrom, J. R.; Nelson, M. M.; Engel, T. Surf. Sci. 1989, 215, 437.
13. Li, Y. L.; Yang, J. J.; Ceyer, S. T., to be published, as referenced in ref 1 by Yu and Delouise.
14. Li, Y. L.; Pullman, D. P.; Yang, J. J.; Tsekouras, A. A.; Gosalvez, D. G.; Laughlin, K. B.; Zhang, Z.; Schulberg, M. T.; Gladstone, D. J.; Mcgonigal, M.; Ceyer, S. T. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 2603.
15. Ceyer and co-workers, to be published.
16. Behringer, E. R.; Flaum, H. C.; Kummel, A. C. J. Phys. Chem. 1995, 99, 5533.
17. Behringer, E. R.; Flaum, H. C.; Sullivan, D. J. D.; Masson, D. P.; Lanzendorf, E. J.; Kummel, A. C. J. Phys. Chem. 1995, 99, 12863.
18. For example: (a) Szabo, A.; Engel, T. J. Vac. Sci. Technol. A 1994, 12, 648.
19. (b) Teraoka, Y.; Nishiyama, I. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 3355.
20. (c) Sullivan, D. J. D.; Flaum, H. C.; Kummel, A. C. J. Phys. Chem. 1993, 97, 12051.
21. (d) Geuzebroek, F. H.; Babasaki, Y.; Tanaka, M.; Nakamura, T.; Namiki, A. Surf. Sci. 1993, 297, 141.
22. (e) Campos, F. X.; Weaver, G. C.; Waltman, C. J.; Leone, S. R. J. Vac. Sci. Technol. B 1992, 10, 2217.
23. Stillinger, F. H.; Weber, T. A. Phys. Rev. B 1985, 31, 5262.
24. Stillinger, F. H.; Weber, T. A. J. Chem. Phys. 1988, 88, 5123.
25. Weber, T. A.; Stillinger, F. H. J. Chem. Phys. 1990, 92, 6239.
26. Wu, C. J.; Carter, E. A. J. Am. Chem. Soc. 1991, 113, 9061.
27. Wu, C. J.; Carter, E. A. Phys. Rev. B 1992, 45, 9065.
28. Weakliem, P. C.; Wu, C. J.; Carter, E. A. Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 200, 1475.
29. Weakliem, P. C.; Carter, E. A. J. Chem. Phys. 1993, 98, 737.
30. Carter, L. E.; Khodabandeh, S.; Weakliem, P. C.; Carter, E. A. J. Chem. Phys. 1994, 100, 2277.
31. Schoolcraft, T. A.; Diehl, M. A.; Steel, A. B.; Garrison, B. J. J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 1861.
32. Carter, L. E.; Carter, E. A. J. Vac. Sci. Technol. A 1994, 12, 2235.
33. Carter, L. E.; Carter, E. A. Surf. Sci. 1995, 323, 39.
34. Schoolcraft, T. A.; Garrison, B. J. J. Am. Chem. Soc. 1991, 113, 8221.
35. Barone, M. E.; Graves, D. B. J. Appl. Phys. 1995, 77, 1303.
36. Feil, H.; Dieleman, J.; Garrison, B. J. Appl. Phys. 1993, 74, 1303.
37. Radny, M. W.; Smith, P. V. Surf. Sci. 1994, 301, 97.
38. Craig, B. I.; Smith, P. V. Surf. Sci. 1993, 290, L662.
39. Craig, B. I.; Smith, P. V. Surf. Sci. 1992, 262, 235.
40. Bennett, S. L.; Greenwood, C. L.; Williams, E. M. Surf. Sci. 1993, 290, 267.
41. Johnson, A. L.; Walczak, M. M.; Madey, T. E. Langmuir 1987, 4, 277.
42. Bozack, M. J.; Dresser, M. J.; Choyke, W. J.; Taylor, P. A.; Yates, J. T. Surf. Sci. 1987, 184, L332.
43. Stich, I.; De Vita, A.; Payne, M. C.; Gillan, M. J.; Clarke, L. J. Phys. Rev. B 1994, 49, 8076.
44. (a) Stich, I.; Payne, M. C.; De Vita, A.; Gillan, M. J.; Clarke, L. J. Chem. Phys. Lett. 1993, 6, 617.
45. (b) De Vita, A.; Stich, I.; Gillan, M. J.; Payne, M. C.; Clarke, L. J. Phys. Rev. Lett. 1993, 71, 1276.
46. Nosé, S. Mol. Phys. 1984, 52, 255.
47. Hoover, W. G. Phys. Rev. A 1985, 31, 1695.
48. Verlet, L. Phys. Rev. 1967, 159, 98.
49. Hammersly, J. M.; Handscomb, D. C. Monte Carlo Methods; Wiley: New York, 1964.
50. Jensen, J. A.; Yan, C.; Kummel, A. C. Science 1995, 267, 493.
51. Huber, K. P.; Herzberg, G. Molecular Spectra and Molecular Structure. IV. Constants of Diatomic Molecules; Van Nostrand Reinhold: New York, 1979.
52. Jensen, J. A.; Yan, C.; Kummel, A. C. Phys. Rev. Lett., submitted.
53. Carter, L. E.; Carter, E. A., to be published.