Investigation on direct bonding of III-V semiconductor wafers with lattice mismatch and orientation mismatch

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 20, 1996, Pages 2855-2857

  Okuno, Yae ^a  

^a HITACHI LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006429136     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116347     Document Type: Article

References (14)

1. S. F. Fang, K. Adomi, S. Iyer, H. Morkoç, H. Zabel, C. Choi, and N. Otsuka, J. Appl. Phys. AIP 68, R31 (1990).
2. T. Hayakawa, M. Kondo, T. Suyama, K. Takahashi, S. Yamamoto, and T. Hijikawa, Jpn. J. Appl. Phys. INS 26, L302 (1987).
3. L.Z. Liau and D. E. Mull, Appl. Phys. Lett. AIP 56, 737 (1990).
4. Y. H. Lo, R. Bhat, D. M. Hwang, M. A. Koza, and T. P. Lee, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 1961 (1991).
5. H. Wada, Y. Ogawa, and T. Kamijoh, Appl. Phys. Lett. AIP 62, 738 (1993).
6. Y. H. Lo, R. Bhat, D. M. Hwang, C. Chua, and C.-H. Lin, Appl. Phys. Lett. AIP 62, 1038 (1993).
7. J. J. Dudley, D. I. Babic, R. Mirin, L. Yang, B. I. Miller, R. J. Ram, T. Reynolds, E. L. Hu, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. AIP 64, 1463 (1994).
8. L. Gordon, G. L. Woods, R. C. Eckardt, R. R. Route, R. S. Feigelson, M. M. Fejer, and R. L. Byer, Electron. Lett. INS 29, 1942 (1993).
9. S. J. B. Yoo, R. Bhat, C. Caneau, and M. A. Koza, Appl. Phys. Lett. AIP 66, 3410 (1995).
10. Y. Okuno, K. Uomi, M. Aoki, T. Taniwatari, M. Suzuki, and M. Kondow, Appl. Phys. Lett. AIP 66, 451 (1995).
11. Y. Okuno, K. Uomi, M. Aoki, T. Tsuchiya, and K. Uomi, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 810 (1995).
12. F. A. Kish, D. A. Vanderwater, M. J. Peanasky, M. J. Ludowise, S. G. Hummel, and S. J. Rosner, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 2060 (1995).
13. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, 2nd ed. (Wiley, New York, 1981).
14. Y. Okuno and K. Uomi, Proceedings of 22nd International Symposium on Compound Semiconductors, Korea, 1995 (to be published).