Unique x-ray diffraction pattern at grazing incidence from misfit dislocations in SiGe thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 1, 1996, Pages 89-96

  Jordan Sweet, J L ^a   Mooney, P M ^a   Lutz, M A ^a   Feenstra, R M ^a,b   Chu, J O ^a   LeGoues, F K ^a  

^a IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

^b CARNEGIE MELLON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006228802     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362776     Document Type: Article

References (31)

1. B. S. Meyerson, D. L. Harame, J. Stork, E. Crabbe, J. Comfort, and G. Patton, Int. J. High Speed Electron. Syst. 5, 473 (1994).
2. J. C. Bean, Proc. IEEE 80, 571 (1992).
3. S. L. Yellen, A. H. Shepard, R. J. Dalby, J. A. Baumann, H. B. Serreze, T. S. Guido, R. Soltz, K. J. Bystrom, C. M. Harding, and R. G. Waters, IIII, J. Quantum Electron. 29, 2058 (1993).
4. K. Ismail, S. Rishton, J. O. Chu, K. Chan, S. F. Nelson, and B. S. Meyerson, Electron. Devices Lett. 14, 348 (1993).
5. M. Arafa, K. Ismail, P. Fay, J. O. Chu, K. Chan, B. S. Meyerson, and I. Adesida, Electron. Lett. 31, 680 (1995).
6. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, K. Ismail, J. O. Chu, R. M. Feenstra, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 67, 2373 (1995).
7. K. Ismail, J. O. Chu, and B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 64, 3124 (1994).
8. F. K. LeGoues, B. S. Meyerson, J. F. Morar, and P. D. Kirchner, J. Appl. Phys. 71, 4230 (1992).
9. J. Tersoff and F. K. LeGoues, Phys. Rev. Lett. 72, 3570 (1994).
10. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, P. M. Mooney, J. Tersoff, and J. O. Chu, Surf. Sci. 316, L1075 (1994).
11. P. M. Mooney, F. K. LeGoues, and J. Tersoff, J. Appl. Phys. 75, 3968 (1994).
12. F. K. LeGoues, Phys. Rev. Lett. 72, 876 (1994).
13. M. A. Lutz, R. M. Feenstra, F. K. LeGoues, P. M. Mooney, and J. O. Chu, Appl. Phys. Lett. 66, 724 (1995).
14. S. Y. Shiryaev, F. Jensen, and J. W. Petersen, Appl. Phys. Lett. 64, 3305 (1994).
15. P. F. Fewster, Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993); P. Fewster and N. L. Andrew, J. Appl. Phys. 74, 3121 (1993).
16. P. F. Fewster, Semicond. Sci. Technol. 8, 1915 (1993); P. Fewster and N. L. Andrew, J. Appl. Phys. 74, 3121 (1993).
17. M. A. G. Halliwell, Inst. Phys. Conf. Ser. No. 60, 271 (1981).
18. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, G. B. Stephenson, F. K. LeGoues, and J. O. Chu, Adv. X-ray Analysis 38, 181 (1995).
19. P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, J. O. Chu, and F. K. LeGoues, Appl. Phys. Lett. 66, 3642 (1995).
20. For a general review of grazing-incidence x-ray scattering, see P. H. Fuoss and S. Brennan, Annu. Rev. Mater. Sci. 20, 365 (1990).
21. B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 48, 797 (1986).
22. J. L. Jordan-Sweet, P. M. Mooney, and G. B. Stephenson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 375, 201 (1995).
23. A. G. Cullis, D. J. Robbins, A. J. Pidduck, and P. W. Smith, J. Cryst. Growth 123, 333 (1992).
24. A. G. Cullis, D. J. Robbins, S. J. Barnett, and A. J. Pidduck, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1924 (1994).
25. J. A. Bain, L. J. Chyung, S. Brebban, and B. M. Clemens, Phys. Rev. B 44, 1184 (1991).
26. A. Taylor, X-Kay Metallography (Wiley, New York, 1961), p. 733.
27. J. P. Dismukes, L. Ekstrom, and R. J. Paff, J. Phys. Chem. 68, 3021 (1964).
28. P. M. Mooney, F. K. LeGoues, J. O. Chu, and S. F. Nelson, Appl. Phys. Lett. 62, 3462 (1993).
29. V. Holy', J. H. Li, G. Bouer, F. Schäfler, and J.-J. Herzog, J. Appl. Phys. 78, 5013 (1995).
30. J. P. Hirth and J. Lothe, Theory of Dislocations (Kreiger, Malabar, FL, 1992).
31. For straight dislocations the elasticity problem is reduced to plain strain. Airy stress functions, satisfying appropriate boundary conditions, can be derived from the fictitious surface stresses through Fourier transformation, similar to the treatment of Hirth and Lothe in Chap. 3 of Ref. 29.