Micro-optomechanical sensor for optical connection in the near field

Applied Physics Letters

Volumn 77, Issue 12, 2000, Pages 1768-1770

  Belier, B ^a   Santoso, A ^a   Bonnafe, J ^a   Nicu, L ^b   Temple Boyer, P ^b   Bergaud, C ^b  

^a UNIVERSITÉ MONTPELLIER II   (France)

^b LAAS CNRS   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003775894     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1311602     Document Type: Article

References (20)

1. D. W. Pohl, W. Denk, and M. Lanz, Appl. Phys. Lett. 44, 651 (1984).
2. A. Harootunian, E. Betzig, M. Isaacson, and A. Lewis, Appl. Phys. Lett. 49, 674 (1986).
3. D. Courjon, J. M. Vigoureux, M. Spajer, K. Sarayeddine, and S. Leblanc, Appl. Opt. 29, 3734 (1990).
4. M. H. P. Moers, R. G. Tack, N. F. van Hulst, and B. Bölger, J. Appl. Phys. 75, 1254 (1994).
5. A. G. Ruiter, M. H. P. Moers, N. F. van Hulst, and M. de Boer, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 597 (1996).
6. F. Baida, D. Courjon, and G. Tribillon, NATO ASI Ser., Ser. E 242, 71 (1993).
7. Y. Tanaka, K. Fukuzawa, and H. Kuwano, J. Appl. Phys. 83, 3547 (1998).
8. W. Noell, M. Abraham, K. Mayr, R. Ruf, J. Barenz, O. Hollricher, O. Marti, and P. Güthner, Appl. Phys. Lett. 70, 1236 (1997).
9. T. Leinhos, O. Rudow, M. Stopka. A. Vollkopf, and E. Oesterschulze, J. Microsc. 194, 349 (1999).
10. J. D. Joannopoulos, P. R. Villeneuve, and S. Fan, Nature (London) 386, 143 (1997).
11. C. Girard, A. Dereux, and C. Joachim, Phys. Rev. E 59, 6097 (1999).
12. E. Betzig, J. K. Trautman, R. Wolfe, E. M. Gyorgy, P. L. Finn, M. H. Kryder, and C. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 61, 142 (1992).
13. B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Rugar, Appl. Phys. Lett. 68, 141 (1996).
14. H. Yoshikawa, T. Ohkubo, K. Fukuzawa, L. Bouet, and M. Yamamoto, Appl. Opt. 38, 863 (1999).
15. S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 443 (1996).
16. X. Bouju, A. Dereux, J. P. Vigneron, and C. Girard, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 816 (1996).
17. T. Ravi, R. B. Marcus, and D. Liu, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2733 (1991).
18. P. Temple-Boyer, C. Rossi, E. Saint-Etienne, and E. Scheid, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2003 (1998).
19. T. Niwa, K. Kato, S. Ichihara, N. Chiba, Y. Mitsuoka, M. Oumi, M. Shinogi, K. Nakajima, H. Muramatsu, T. Sakuhara, M. Shikida, and K. Sato, Proceedings of the IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Orlando, FL (IEEE, Piscataway, NJ, 1999), p. 355.
20. A. Vollkopf, O. Rudow, T. Leinhos, C. Mihalcea, and E. Oesterschulze, J. Microsc. 194, 344 (1999).