Dielectric response of thick low dislocation-density Ge epilayers grown on (001) Si

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 26, 1996, Pages 4084-4086

  Junge, Kelly E ^a   Lange, Rüdiger ^a   Dolan, Jennifer M ^a   Zollner, Stefan ^a   Dashiell, M ^b   Orner, B A ^b   Kolodzey, J ^b  

^a IOWA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0002705705     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117826     Document Type: Article

References (21)

1. B.-Y. Tsaur, M. W. Geis, J. C. C. Fan, and R. P. Gale, Appl. Phys. Lett. 38, 779 (1981); J. M. Baribeau, T. E. Jackman, D. C. Houghton, P. Maingé, and M. W. Denhoff, J. Appl. Phys. 63, 5738 (1988).
2. B.-Y. Tsaur, M. W. Geis, J. C. C. Fan, and R. P. Gale, Appl. Phys. Lett. 38, 779 (1981); J. M. Baribeau, T. E. Jackman, D. C. Houghton, P. Maingé, and M. W. Denhoff, J. Appl. Phys. 63, 5738 (1988).
3. D. P. Malta, J. B. Posthill, R. J. Markunas, and T. P. Humphreys, Appl. Phys. Lett. 60, 844 (1992).
4. S. S. Iyer, G. L. Patton, J. M. C. Stork, B. S. Meyerson, and D. L. Harame, IEEE Transactions on Electron Devices 36, 2043 (1989).
5. K. Ismail, F. K. LeGoues, K. L. Saenger, M. Arafa, J. O. Chu, P. M. Mooney, and B. S. Meyerson, Phys. Rev. Lett. 73, 3447 (1994).
6. B. A. Orner, J. Olowolafe, K. Roe, J. Kolodzey, T. Laursen, J. W. Mayer, and J. Spear, Appl. Phys. Lett. 69, 2557 (1996).
7. K. L. Wang and R. P. G. Karunasiri, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1159 (1993).
8. P. Sheldon, B. G. Yacobi, K. M. Jones, and D. J. Dunlavy, J. Appl. Phys. 58, 4186 (1985); R. D. Dupuis, J. C. Bean, J. M. Brown, A. T. Macrander, R. C. Miller, and L. C. Miller, J. Electron. Mater. 16, 69 (1987).
9. P. Sheldon, B. G. Yacobi, K. M. Jones, and D. J. Dunlavy, J. Appl. Phys. 58, 4186 (1985); R. D. Dupuis, J. C. Bean, J. M. Brown, A. T. Macrander, R. C. Miller, and L. C. Miller, J. Electron. Mater. 16, 69 (1987).
10. D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Phys. Rev. Let 64, 1943 (1990); D. J. Eaglesham and R. Hull, Mater. Sci. Eng. B 30, 197 (1995).
11. D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Phys. Rev. Let 64, 1943 (1990); D. J. Eaglesham and R. Hull, Mater. Sci. Eng. B 30, 197 (1995).
12. R. Hull and J. C. Bean, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2580 (1989).
13. E. A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, M. L. Green, D. Brasen, A. R. Kortan, J. Michel, Y.-J. Mii, and B. E. Weir, Appl. Phys. Lett. 59, 811 (1991); P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, J. O. Chu, and F. K. LeGoues, ibid. 66, 3642 (1995).
14. E. A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, M. L. Green, D. Brasen, A. R. Kortan, J. Michel, Y.-J. Mii, and B. E. Weir, Appl. Phys. Lett. 59, 811 (1991); P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, J. O. Chu, and F. K. LeGoues, ibid. 66, 3642 (1995).
15. R. Lange, K. E. Junge, S. Zollner, S. S. Iyer, A. P. Powell, and K. Eberl, J. Appl. Phys. 80 4578 (1996).
16. J. Kolodzey, P. A. O'Neil, S. Zhang, B. A. Orner, K. Roe, K. M. Unruh, C. P. Swann, M. M. Waite, and S. Ismat Shah, Appl. Phys. Lett. 67, 1865 (1995).
17. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).
18. J. L. Freeouf, J. C. Tsang, F. K. LeGoues, and S.S. Iyer, Phys. Rev. Lett. 64, 315 (1990).
19. J. E. Hulse and S. J. Rolfe, Thin Solid Films 93, 223 (1993).
20. P. Etchegoin, J. Kircher, M. Cardona, and C. Grein, Phys. Rev. B 45, 11721 (1992).
21. L. Viña, S. Logothetidis, and M. Cardona, Phys. Rev. B 30, 1979 (1984).