Mechanism of the photochemically induced reaction between Ga(CH3)3 and HN3 and the deposition of GaN films

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 1, 1998, Pages 88-90

  Linnen, C J ^a   Coombe, R D ^a  

^a UNIVERSITY OF DENVER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0002392622     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120653     Document Type: Article

References (15)

1. R. Ishihara, O. Sigiura, and M. Matsumura, Appl. Phys. Lett. 60, 3244 (1992).
2. Y. Bu, L. Ma, and M. C. Lin, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2931 (1993).
3. Y. Bu, M. C. Lin, L. P. Fu, D. G. Chtchekine, G. D. Gilliland, Y. Chen, S. E. Ralph, and S. R. Stock, Appl. Phys. Lett. 66, 2433 (1995).
4. D. G. Chtchekine, L. P. Fu, G. D. Gilliland, Y. Chen, S. E. Ralph, K. K. Bajaj, Y. Bu, M. C. Lin, F. T. Bacalzo, and S. R. Stock, J. Appl. Phys. 81, 2197 (1997).
5. R. L. Mulinax, G. S. Okin, and R. D. Coombe, J. Phys. Chem. 99, 6294 (1995).
6. C. J. Linnen and R. D. Coombe, J. Phys. Chem. B101, 1602 (1997).
7. A. P. Baronavski, R. G. Miller, and J. R. McDonald, Chem. Phys. 30, 119 (1978).
8. U. Mazur and A. Cleary, J. Phys. Chem. 94, 189 (1990);
9. X. D. Wang, K. W. Hipps, and U. Mazur, J. Chem. Phys. 96, 8485 (1992).
10. J. M. Frisch, G. W. Trucks, M. Head-Gordon, P. M. Gill, M. W. Wong, J. B. Foresman, B. G. Johnson, H. B. Schlegel, M. A. Robb, E. S. Repogle, R. Gomperts, J. L. Andres, K. Rachavachari, J. S. Binkley, C. Gonzalez, R. L. Martin, D. J. Fox, D. J. DeFrees, J. Baker, J. J. Stewart, and J. A. Pople, GAUSSIAN 94, Gaussian, Inc., Pittsburgh, PA, 1994.
11. T. Ibuki, A. Hiraya, K. Shobatake, Y. Matsumi, and M. Kawasaki, Chem. Phys. Lett. 160, 152 (1989).
12. See, for example, S. M. Singleton and R. D. Coombe, J. Phys. Chem. 99, 16296 (1995).
13. J. R. McDonald, R. G. Miller, and A. P. Baronavski, Chem. Phys. 30, 113 (1978).
14. Y. Bu and M. C. Lin, Surf. Sci. 301, 118 (1994).
15. P. C. John, J. J. Alwan, and J. G. Eden, Thin Solid Films 218, 75 (1992).