Growth of gallium oxide thin films from gallium acetylacetonate by Atomic Layer Epitaxy

Journal of Materials Chemistry

Volumn 6, Issue 1, 1996, Pages 27-31

  Nieminen, Minna ^a   Niinistö, Lauri ^a   Rauhala, Eero ^b  

^a AALTO UNIVERSITY   (Finland)

^b UNIVERSITY OF HELSINKI   (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0002229170     PISSN: 09599428     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/JM9960600027     Document Type: Article

References (27)

1. A. Callegari, P. D. Hoh, D. A. Buchanan and D. Lacey, Appl. Phys. Lett., 1989, 54, 332.
2. M. Fleischer, L. Höllbauer and H. Meixner, Sensors Actuators B, 1994, 18-19, 119.
3. M. Fleischer and H. Meixner, Sensors Actuators B, 1991, 4, 437.
4. W. Hanrieder and H. Meixner, Sensors Actuators B, 1991, 4, 401.
5. P. P. Macrì, S. Enzo, G. Sberveglieri, S. Groppelli and C. Perego, Appl. Surf. Sci., 1993, 65/66, 277.
6. M. Fleischer, W. Hanrieder and H. Meixner, Thin Solid Films, 1990, 190, 93.
7. M. Passlack, E. F. Schubert, W. S. Hobson, M. Hong, N. Moriya, S. N. G. Chu, K. Konstadinidis, J. P. Mannaerts, M. L. Schnoes and G. J. Zydzik, J. Appl. Phys., 1995, 77, 686.
8. M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerts, S. N. G. Chu, N. Moriya and F. A. Thiel, Appl. Phys. Lett., 1995, 66, 625.
9. H-G. Kim and W-T. Kim, J. Appl. Phys., 1987, 62, 2000.
10. T. Hariu, S. Sasaki, H. Adachi and Y. Shibata, Jpn. J. Appl. Phys., 1977, 16, 841.
11. T. Suntola and J. Hyvärinen, Ann. Rev. Mater. Sci., 1985, 15, 177.
12. L. Niinistö and M. Leskelä, Thin Solid Films, 1993, 225, 130.
13. M. Nieminen, L. Niinistö and R. Lappalainen, Mikrochim. Acta, 1995, 119, 13.
14. T. Suntola, Mater. Sci. Rep., 1989, 4, 261.
15. M. Leskelä and L. Niinistö, in Atomic Layer Epitaxy, ed. T. Suntola and M. Simpson, Blackie and Son, Ltd., Glasgow, 1990, p.1.
16. T. Suntola, in Handbook of Crystal Growth, vol. 3, ed. D. T. J. Hurle, Elsevier, Amsterdam, 1994, p. 601.
17. R. Belcher, C. R. Jenkins, W. I. Stephen and P. C. Uden, Talanta, 1970, 17, 455.
18. M. Ylilammi and T. Ranta-aho, Thin Solid Films, 1993, 232, 56.
19. H. Mölsä and L. Niinistö, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 1994, 335, 341.
20. H. Mölsä, L. Niinistö and M. Utriainen, Adv. Mater. Opt. Electr., 1994, 4, 389.
21. L. Hiltunen, H. Kattelus, M. Leskelä, M. Mäkelä, L. Niinistö, E. Nykänen, P. Soininen and M. Tiitta, Mater. Chem. Phys., 1991, 28, 379.
22. CRC Handbook of Chemistry and Physics, CRC Press, Boca Raton, FL, 69th edn., 1988, p. B-92.
23. J. Saarilahti and E. Rauhala, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B., 1992, 64, 734.
24. E. Rauhala, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B., 1985, 12, 447.
25. M. Luomajärvi, E. Rauhala and M. Hautala, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B., 1985, 9, 255.
26. M. Yoshida, H. Yamaguchi, T. Sakuma, Y. Miyasaka, P-Y. Lesaicherre and A. Ishitani, J. Electrochem. Soc., 1995, 142, 244.
27. R. Carli and C. L. Bianchi, Appl. Surf. Sci., 1994, 74, 99.