Automatic microassembly of radar sensors for automotive applications

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 3511, Issue , 1998, Pages 135-142

  Nienhaus, M ^a   Ehrfeld, W ^a   Michel, F ^a   Graeff, V ^a   Wolf, A ^a  

^a INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH   (Germany)

Author keywords

m EDM; Die ejector; Gripper; Microassembly; Photoetchable glass

Indexed keywords

ASSEMBLY; AUTOMOTIVE ENGINEERING; GRIPPERS; MILLIMETER WAVE DEVICES; MONOLITHIC INTEGRATED CIRCUITS; RADAR; SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE; SEMICONDUCTING GLASS; SUBSTRATES;

DIE EJECTOR; MICROASSEMBLY; MILLIMETER WAVE MONOLITHIC INTEGRATED CIRCUITS; PHOTOETCHABLE GLASS; RADAR SENSORS;

MICROSENSORS;

EID: 0002066547     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.324291     Document Type: Conference Paper

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