The effect of H2 on morphology evolution during GaN metalorganic chemical vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 21, 1997, Pages 3114-3116

  Han, J ^a   Ng, T B ^a   Biefeld, R M ^a   Crawford, M H ^a   Follstaedt, D M ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001904229     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120263     Document Type: Article

References (15)

1. S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diode (Springer, Berlin, Heidelberg, 1997).
2. H. Amano, N. Sawaki, I. Akasaki, and Y. Toyoda, Appl. Phys. Lett. 48, 353 (1986).
3. H. Amano, I. Akasaki, K. Hiramatsu, N. Koide, and N. Sawaki, Thin Solid Films 163, 415 (1988).
4. S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1348 (1991); 30, 1620 (1991).
5. S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1348 (1991); 30, 1620 (1991).
6. A. E. Wickenden, D. K. Wickenden, and T. J. Kistenmacher, J. Appl. Phys. 75, 5367 (1994).
7. T. George, W. T. Pike, M. A. Khan, J. N. Kuznia, and P. Chang-Chien, J. Electron. Mater. 24, 241 (1995).
8. X. H. Wu, D. Kapolnek, E. J. Tarsa, B. Heying, S. Keller, B. P. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 68, 1371 (1996).
9. I. P. Herman, Optical Diagnostics for Thin Film Processing (Academic, San Diego, 1996).
10. W. G. Breiland and G. H. Evans, J. Electrochem. Soc. 138, 1806 (1991).
11. For example, S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991); K. Doverspike, L. B. Rowland, D. K. Gaskill, and J. A. Freitas, Jr., J. Electron. Mater. 24, 269 (1995); S. D. Hersee, J. Ramer, K. Zheng, C. Kranenberg, K. Malloy, M. Banas, and M. Goorsky, J. Electron. Mater. 24, 1519 (1995).
12. For example, S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991); K. Doverspike, L. B. Rowland, D. K. Gaskill, and J. A. Freitas, Jr., J. Electron. Mater. 24, 269 (1995); S. D. Hersee, J. Ramer, K. Zheng, C. Kranenberg, K. Malloy, M. Banas, and M. Goorsky, J. Electron. Mater. 24, 1519 (1995).
13. For example, S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991); K. Doverspike, L. B. Rowland, D. K. Gaskill, and J. A. Freitas, Jr., J. Electron. Mater. 24, 269 (1995); S. D. Hersee, J. Ramer, K. Zheng, C. Kranenberg, K. Malloy, M. Banas, and M. Goorsky, J. Electron. Mater. 24, 1519 (1995).
14. A. van der Drift, Philips Res. Rep. 22, 267 (1967); C. Wild, P. Koidl, W. Muller-Sebert, H. Walcher, R. Kohl, N. Herres, R. Locher, R. Samlenski, and R. Brenn, Diamond Relat. Mater. 2, 158 (1993).
15. A. van der Drift, Philips Res. Rep. 22, 267 (1967); C. Wild, P. Koidl, W. Muller-Sebert, H. Walcher, R. Kohl, N. Herres, R. Locher, R. Samlenski, and R. Brenn, Diamond Relat. Mater. 2, 158 (1993).