SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Volumn 87, Issue 11, 2000, Pages 7647-7651

Effect of bias voltage waveform on ion energy distribution

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001630391 PISSN: 00218979 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.373435 Document Type: Article

Times cited : (32)

References (13)

1
- 0000823657
- J. Hopwood, Appl. Phys. Lett. 62, 940 (1993).
- (1993) Appl. Phys. Lett. , vol.62 , pp. 940
- Hopwood, J.¹

2
- 0029308907
- U. Kortshagen, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 172 (1995).
- (1995) Plasma Sources Sci. Technol. , vol.4 , pp. 172
- Kortshagen, U.¹

3
- 0031271928
- J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, C. A. Nichols, and T. W. Hamilton, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 3015 (1997); J. R. Woodworth, M. E. Riley, D. C. Meister, B. P. Aragon, M. S. Le, and H. H. Sawin, J. Appl. Phys. 80, 1304 (1996); J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, G. A. Hebner, and T. W. Hamilton, J. Appl. Phys. 81, 5950 (1997).
- (1997) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.15 , pp. 3015
- Woodworth, J.R.¹ Riley, M.E.² Miller, P.A.³ Nichols, C.A.⁴ Hamilton, T.W.⁵

4
- 0030213902
- J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, C. A. Nichols, and T. W. Hamilton, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 3015 (1997); J. R. Woodworth, M. E. Riley, D. C. Meister, B. P. Aragon, M. S. Le, and H. H. Sawin, J. Appl. Phys. 80, 1304 (1996); J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, G. A. Hebner, and T. W. Hamilton, J. Appl. Phys. 81, 5950 (1997).
- (1996) J. Appl. Phys. , vol.80 , pp. 1304
- Woodworth, J.R.¹ Riley, M.E.² Meister, D.C.³ Aragon, B.P.⁴ Le, M.S.⁵ Sawin, H.H.⁶

5
- 0001704693
- J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, C. A. Nichols, and T. W. Hamilton, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 3015 (1997); J. R. Woodworth, M. E. Riley, D. C. Meister, B. P. Aragon, M. S. Le, and H. H. Sawin, J. Appl. Phys. 80, 1304 (1996); J. R. Woodworth, M. E. Riley, P. A. Miller, G. A. Hebner, and T. W. Hamilton, J. Appl. Phys. 81, 5950 (1997).
- (1997) J. Appl. Phys. , vol.81 , pp. 5950
- Woodworth, J.R.¹ Riley, M.E.² Miller, P.A.³ Hebner, G.A.⁴ Hamilton, T.W.⁵

6
- 0001369474
- R. J. Hoekstra and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 79, 2275 (1996).
- (1996) J. Appl. Phys. , vol.79 , pp. 2275
- Hoekstra, R.J.¹ Kushner, M.J.²

7
- 0000800464
- M. A. Sobolewski, J. K. Olthoff, and Y. Wang, J. Appl. Phys. 85, 3966 (1999).
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.85 , pp. 3966
- Sobolewski, M.A.¹ Olthoff, J.K.² Wang, Y.³

8
- 0001392175
- J. K. Olthoff and Y. Wang, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1552 (1999); Y. Wang and J. K. Olthoff, J. Appl. Phys. 85, 6358 (1999).
- (1999) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.17 , pp. 1552
- Olthoff, J.K.¹ Wang, Y.²

9
- 0001389545
- J. K. Olthoff and Y. Wang, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1552 (1999); Y. Wang and J. K. Olthoff, J. Appl. Phys. 85, 6358 (1999).
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.85 , pp. 6358
- Wang, Y.¹ Olthoff, J.K.²

10
- 3342927000
- A. E. Wendt, S. B. Want, and J. Werking, Bull. Am. Phys. Soc. 44, 10 (1999).
- (1999) Bull. Am. Phys. Soc. , vol.44 , pp. 10
- Wendt, A.E.¹ Want, S.B.² Werking, J.³

11
- 0002915776
- M. J. Grapperhaus, Z. Krivokapic, and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 83, 35 (1998).
- (1998) J. Appl. Phys. , vol.83 , pp. 35
- Grapperhaus, M.J.¹ Krivokapic, Z.² Kushner, M.J.³

12
- 0001600183
- S. Rauf and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 83, 5087 (1998).
- (1998) J. Appl. Phys. , vol.83 , pp. 5087
- Rauf, S.¹ Kushner, M.J.²

13
- 0033204739
- S. Rauf and M. J. Kushner, IEEE Trans. Plasma Sci. 27, 1329 (1999).
- (1999) IEEE Trans. Plasma Sci. , vol.27 , pp. 1329
- Rauf, S.¹ Kushner, M.J.²

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.