Ideal anodization of silicon

Applied Physics Letters

Volumn 70, Issue 25, 1997, Pages 3404-3406

  Yamani, Zain ^a   Thompson, W Howard ^a   AbuHassan, Laila ^a   Nayfeh, Munir H ^a  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001541307     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.119185     Document Type: Article

References (11)

1. K. H. Jung, S. Shih, T. Y. Hsieh, D. L. Kwong, and T. L. Lin, Appl. Phys. Lett. 59, 3264 (1991).
2. C. Tsai, K.-H. Li, D. S. Kinosky, T.-Z. Qian, T.-C. Hsu, J. T. Irby, S. K. Banerjee, A. F. Tasch, J. Campbell, B. K. Hance, and J. M. White, Appl. Phys. Lett. 60, 1700 (1992).
3. P. Gupta, V. L. Colvin, and S. M. George, Phys. Rev. B 37, 8234 (1988).
4. M. H. Brodsky, M. Cardona, and J. J. Cuomo, Phys. Rev. B 16, 3556 (1977).
5. R. J. Collins and H. Y. Fan, Phys. Rev. 93, 674 (1954).
6. G. Lucovsky, R. J. Nemanich, and J. C. Knights, Phys. Rev. B 19, 2064 (1979).
7. F. Stucki, J. A. Shaefer, F. R. Anderson, G. J. Lapeyre, and W. Göpel, Solid State Commun. 47, 795 (1983).
8. V. A. Burrows, Y. J. Chabal, G. S. Higaschi, K. Raghavachari, and S. B. Christman, Appl. Phys. Lett. 53, 998 (1988).
9. G. S. Higashi, Y. J. Chabal, G. W. Truck, and K. Raghavachari, Appl. Phys. Lett. 56, 656 (1990).
10. D. Andsager, J. Milliard, and M. H. Nayfeh, Appl. Phys. Lett. 64, 1141 (1994).
11. J. Billiard, D. Andsager, L. Abu Hassan, H. M. Nayfeh, and M. H. Nayfeh, J. Appl. Phys. 76, 2423 (1994).