Performance of Zr/O/W Schottky emitters at reduced temperatures

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 6, 1997, Pages 2284-2288

  Kim, H S ^a,b   Yu, M L ^a,c   Thomson, M G R ^a   Kratschmer, E ^a   Chang, T H P ^a,b  

^a IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

^b Etec Systems Inc   (United States)

^c HONG KONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   (Hong Kong)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001465585     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589630     Document Type: Article

References (15)

1. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, S. Zolgharnain, B. W. Hussey, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3792 (1996).
2. H. S. Kim, M. L. Yu, E. Kratschmer, B. W. Hussey, M. G. R. Thomson, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2468 (1995).
3. S. Kleindiek, H. S. Kim, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2653 (1995).
4. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2498 (1995).
5. L. W. Swanson and L. C. Crouser, Phys. Rev. 163, 622 (1967).
6. L. W. Swanson and N. A. Martin, J. Appl. Phys. 46, 2029 (1975).
7. H. S. Kim, E. Kratschmer, M. L. Yu, M. G. R. Thomson, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3413 (1994).
8. A. B. El-Kareh, J. C. Wolfe, and J. E. Wolfe, J. Appl. Phys. 48, 4749 (1977).
9. A. E. Bell and L. W. Swanson, Phys. Rev. B 19, 3353 (1979).
10. M. G. R. Thomson, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3498 (1994).
11. H. S. Kim, M. L. Yu, E. Kratschmer, M. G. R. Thomson, and T. H. P. Chang, J. Appl. Phys. 81, 461 (1997).
12. T. H. P. Chang, D. P. Kern, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2743 (1992).
13. T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, H. S. Kim, M. L. Yu, K. Y. Lee, S. A. Rishton, B. W. Hussey, and S. Zolgharnain, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3774 (1996).
14. A. Modinos, Field Thermionic and Secondary Electron Emission Spectroscopy (Plenum, New York, 1984).
15. R. Gomer, Field Emission and Field Ionization (Harvard University Press, Cambridge, 1961).