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Volumn 68, Issue 13, 1996, Pages

Silicon micromachining sensors to systems

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EID: 0001393424     PISSN: 00032700     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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References (31)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.