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Volumn 5, Issue 12, 1996, Pages 1397-1401

Ellipsometric study of a-C:H films

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Ellipsometry; Hydrocarbons; Porosity; Refractive index

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EID: 0001367758     PISSN: 09259635     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0925-9635(96)00551-1     Document Type: Article
Times cited : (19)

References (10)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.