Mechanism and kinetics of the ion-assisted nucleation in amorphous silicon

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 53, Issue 12, 1996, Pages 7742-7749

  Spinella, Corrado ^a   Lombardo, Salvatore ^a   Priolo, Francesco ^b   Campisano, S Ugo ^b  

^a CNR IMETEM   (Italy)

^b INFM   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001358899     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.53.7742     Document Type: Article

References (26)

1. F. Priolo and E. Rimini, Mater. Sci. Rep. 5, 319 (1990), and references therein.
2. J. S. Williams, R. G. Elliman, W. L. Brown and T. E. Seidel, Phys. Rev. Lett. 55, 1482 (1985).
3. J. Linnros, R. G. Elliman and W. L. Brown, J. Mater. Res. 3, 1208 (1988).
4. K. A. Jackson, J. Mater. Res. 3, 1218 (1988).
5. J. S. Custer, A. Battaglia, M. Saggio and F. Priolo, Phys. Rev. Lett. 69, 780 (1992).
6. C. Spinella, S. Lombardo and S. U. Campisano, Phys. Rev. Lett. 66, 1102 (1991).
7. G. L. Olson and J. A. Roth, Mater. Sci. Rep. 3, 1 (1988), and references therein.
8. M. J. Caturla, T. Diaz de la Rubia and G. H. Gilmer, J. Appl. Phys. 77, 3121 (1995).
9. W. C. Sinke, T. Warabisako, M. Miyao, T. Tokuyama, S. Roorda and F. W. Saris, J. Non-Cryst. Solids 99, 308 (1988).
10. S. Roorda, W. C. Sinke, J. M. Poate, D. C. Jacobson, S. Dierker, B. S. Dennis, D. J. Eagleshman, F. Spaepen and F. Fuoss, Phys. Rev. B 44, 3702 (1991).
11. S. Roorda, S. Doorn, W. C. Sinke, P. M. L. O. Scholte and E. van Loenen, Phys. Rev. Lett. 62, 1880 (1989).
12. S. Coffa, F. Priolo and A. Battaglia, Phys. Rev. Lett. 70, 3756 (1993).
13. J. S. Shin and H. A. Atwater, Phys. Rev. B 48, 5964 (1993).
14. F. Priolo, S. Coffa and A. Battaglia, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 90, 314 (1994).
15. M. G. Grimaldi, P. Baeri and M. A. Malvezzi, Phys. Rev. B 44, 1546 (1991).
16. J. S. Im and H. A. Atwater, Appl. Phys. Lett. 57, 1766 (1990).
17. J. S. Im and H. A. Atwater, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 59/60, 422 (1991).
18. C. Spinella, A. Battaglia, F. Priolo and S. U. Campisano, Europhys. Lett. 16, 313 (1991).
19. W. A. Johnson and R. F. Mehl, Trans. Am. Instrum. Min. Metal. Pet. Eng. 135, 416 (1939).
20. M. Avrami, J. Chem. Phys. 7, 1103 (1939).
21. M. Avrami, J. Chem. Phys. 8, 212 (1940).
22. M. Avrami, J. Chem. Phys. 9, 177 (1941).
23. R. B. Iverson and R. Reif, J. Appl. Phys. 62, 1675 (1987).
24. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
25. K. F. Kelton, A. L. Greer and C. V. Thompson, J. Chem. Phys. 79, 6261 (1983).
26. R. Becker and W. Döring, Ann. Phys. 24, 719 (1935).