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Wilson, B.7
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Kontkiewicz, A.1
Kontkiewicz, A.2
Siejka, J.3
Sen, S.4
Nowak, G.5
Hoff, A.6
Sakthivel, P.7
Ahmed, K.8
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Tamura, H.1
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Wirschem, T.3
Veprek, S.4
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Muschik, T.2
Kux, A.3
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Koch, F.5
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Nguyen, H.1
Lu, Y.2
Kim, S.3
Wakagi, M.4
Collins, R.5
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The sample was made from p-type Si(100), 10-20 Ω cm, using a HF:(Formula presented)(Formula presented):(Formula presented):(Formula presented)O etch described in M. T. Kelly, J. K. M. Chun and A. B. Bocarsly, Appl. Phys. Lett. 64, 1693 (1994).
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Liu, H.1
Maluf, N.2
Pease, R.3
Biegelsen, D.4
Johnson, N.5
Ponce, F.6
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Biegelsen, D.2
Johnson, N.3
Ponce, F.4
Pease, R.5
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Chen, E.3
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Wilmsen, C.3
Liliental, Z.4
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Krivanek, O.6
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Taylor, L.5
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85037909974
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F. Koch (private communication).
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Kakkad, R.1
Smith, J.2
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Fonash, S.4
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