Characteristics of carbon nitride films synthesized by single-source ion beam enhanced deposition system

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 9, 1996, Pages 1291-1293

  Wu, Zhaocu ^a   Yu, Yuehui ^a   Liu, Xianghuai ^a  

^a SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001271583     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.115956     Document Type: Article

References (15)

1. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science INS 245, 841 (1989).
2. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Phys. Rev. B AIP 41, 10727 (1990).
3. K. Ogata, J. Fernando, Diniz Chubacci, and F. Fujimoto, J. Appl. Phys. AIP 76, 3797 (1994).
4. D. Marton, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, K. J. Boyd, and J. W. Rabalais, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B INS 90, 277 (1994).
5. M. R. Wixom, J. Am. Ceram. Soc. INS 73, 1973 (1990).
6. L. Maya, D. R. Cole, and E. W. Hagaman, J. Am. Ceram. Soc. INS 74, 1686 (1991).
7. F. Fujimoto and K. Ogata, Jpn. J. Appl. Phys. INS 32, L420 (1993).
8. H. W. Song, F. Z. Cui, X. M. He, W. Z. Li, and H. D. Li, J. Phys. Condens. Matter INS 6, 6125 (1994).
9. D. Li, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, J. Appl. Phys. AIP 74, 219 (1993).
10. M. Y. Chen, D. Li, X. Lin, V. P. Dravid, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, J. Vac. Sci. Technol. A AIP 11, 521 (1993).
11. K. M. Yu, M. L. Cohen, E. E. Haller, W. L. Hansen, A. Y. Liu, and I. C. Wu, Phys. Rev. B 49, 5034 (1994).
12. Z. Yuchun, W. Yuming, R. Congxin, F. Xinding, and C. Guoming, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B INS 6, 447 (1985).
13. H. X. Han and B. J. Feldman, Solid State Commun. INS 65, 921 (1988).
14. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saperstein, Phys. Rev. B AIP 39, 13053 (1989).
15. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayai, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. AIP 73, 118 (1994).