The temperature dependence of the Cl2/GaAs(110) surface product distribution

Journal of Chemical Physics

Volumn 104, Issue 1, 1996, Pages 320-325

  Simpson, W G ^a,b   Tong, W M ^b   Weare, C B ^a,b   Shuh, D K ^b   Yarmoff, J A ^a,b  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^b LAWRENCE BERKELEY NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001258739     PISSN: 00219606     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.470903     Document Type: Article

References (33)

1. L. A. DeLouise, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 1732 (1991).
2. L. A. DeLouise, Surf. Sci. Lett. 244, L87 (1991).
3. H. C. Flaum, D. J. D. Sullivan, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. 100, 1634 (1994).
4. J. Pankratz, H. Niehaus, and W. Mönch, Surf. Sci. 307-309, 211 (1994).
5. J. C. Patrin and J. H. Weaver, Phys. Rev. B 48, 17913 (1993).
6. D. K. Shuh, C. W. Lo, J. A. Yarmoff, A. Santoni, L. J. Terminello, and F. R. McFeely, Surf. Sci. 303, 89 (1994).
7. F. Stepniak, D. Rioux, and J. H. Weaver, Phys. Rev. B 50, 1929 (1994).
8. D. Troost, H. J. Clemens, L. Koenders, and W. Mönch, Surf. Sci. 286, 97 (1993).
9. D. J. D. Sullivan, H. C. Flaum, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. 101, 1582 (1994).
10. L. A. DeLouise, J. Chem. Phys. 94, 1528 (1991).
11. C. Su, H.-Q. Hou, G. H. Lee, Z.-G. Dai, M. F. Vernon, and B. E. Bent, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1222 (1993).
12. C. Su, M. Xi, Z.-G. Dai, M. F. Vernon, and B. E. Bent, Surf. Sci. 282, 357 (1993).
13. H. Hou, Z. Zhang, S. Chen, C. Su, W. Yan, and M. Vernon, Appl. Phys. Lett. 55, 801 (1989).
14. W. C. Simpson, T. D. Durbin, P. R. Varekamp, and J. A. Yarmoff, J. Appl. Phys. 77, 2751 (1995).
15. W. C. Simpson, P. R. Varekamp, D. K. Shuh, and J. A. Yarmoff, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1709 (1995).
16. P. R. Varekamp, W. C. Simpson, D. K. Shuh, T. D. Durbin, V. Chakarian, and J. A. Yarmoff, Phys. Rev. B 50, 14267 (1994).
17. A. B. McLean, L. J. Terminello, and F. R. McFeely, Phys. Rev. B 40, 11 778 (1989).
18. A. B. McLean, Surf. Sci. 220, L671 (1989).
19. R. D. Schnell, D. Rieger, A. Bogen, K. Wandelt, and W. Steinmann, Solid State Commun. 53, 205 (1985).
20. T. T. Chiang and W. E. Spicer, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 724 (1988).
21. G. Leonhardt, A. Berndtsson, J. Hedman, M. Klasson, R. Nilsson, and C. Nordling, Phys. Status Solidi. B 60, 241 (1973).
22. P. Pianetta, I. Lindau, C. M. Garner, and W. E. Spicer, Phys. Rev. B 18, 2772 (1978).
23. L. Ley, R. Pollack, F. McFeely, S. Kowalski, and D. A. Shirley, Phys. Rev. B 9, 600 (1974).
24. P. Pianetta, I. Lindau, P. E. Gregory, C. M. Garner, and W. E. Spicer, Surf. Sci. 72, 298 (1978).
25. G. Margaritondo, J. E. Rowe, C. M. Bertoni, C. Calandra, and F. Manghi, Phys. Rev. B 20, 1538 (1979).
26. G. Margaritondo, J. E. Rowe, C. M. Bertoni, C. Calandra, and F. Manghi, Phys. Rev. B 23, 509 (1981).
27. D. Troost, L. Koenders, L.-Y. Fan, and W. Mönch, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 1119 (1987).
28. J. van Laar, A. Huijser, and T. L. van Rooy, J. Vac. Sci. Technol. 16, 1164 (1979).
29. J. E. Northrup, Phys. Rev. B 44, 1349 (1991).
30. G. Haase, V. Liberman, and R. M. Osgood, Jr., J. Vac. Sci. Technol. B 10, 206 (1992).
31. V. Liberman, G. Haase, and R. M. Osgood, Jr., Chem. Phys. Lett. 176, 379 (1991).
32. C. Chatillon and S. C. Bernard, J. Cryst. Growth 71, 433 (1985).
33. S. C. McNevin, J. Vac. Sci. Technol. B 4, 1216 (1986).