A kinetic Monte Carlo method for the atomic-scale simulation of chemical vapor deposition: Application to diamond

Journal of Applied Physics

Volumn 82, Issue 12, 1997, Pages 6293-6300

  Battaile, C C ^a   Srolovitz, D J ^a   Butler, J E ^b  

^a UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

^b NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001256492     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366532     Document Type: Article

References (48)

1. R. C. DeVries, Annu. Rev. Mater. Sci. 17, 161 (1987).
2. K. E. Spear, J. Am. Ceram. Soc. 72, 171 (1989).
3. F. G. Celii and J. E. Butler, Annu. Rev. Phys. Chem. 42, 643 (1991).
4. J. E. Butler and R. L. Woodin, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 342, 209 (1993).
5. D. G. Goodwin and J. E. Butler, in Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, edited by M. A. Prelas, G. Popovici, and L. K. Bigelow (Dekker, New York, 1997), pp. 527-582.
6. F. G. Celii, P. E. Pehrsson, H.-t. Wang, and J. E. Butler. Appl. Phys. Lett. 54, 2043 (1988).
7. C.-H. Wu, M. A. Tamor, T. J. Potter, and E. W. Kaiser, J. Appl. Phys. 68, 4825 (1990).
8. W. L. Hsu, Appl. Phys. Lett. 59, 1427 (1991).
9. D. W. Brenner. Phys. Rev. B 42, 9458 (1990).
10. B. J. Garrison, E. J. Dawnkaski, D. Srivastava, and D. W. Brenner, Science 255, 835 (1992).
11. D. Huang and M. Frenklach, J. Phys. Chem. 96, 1868 (1992).
12. V. I. Gavrilenko, Phys. Rev. B 47, 9556 (1993).
13. Y. L. Yang and M. P. D'Evelyn, J. Am. Chem. Soc. 114, 2796 (1992).
14. T. Frauenheim, U. Stephan, P. Blaudeck, D. Porezag, H.-G. Busmann, W. Zimmermann-Edling, and S. Lauer, Phys. Rev. B 48, 18189 (1993).
15. Z. Jing and J. L. Whitten, Surf. Sci. 314, 300 (1994).
16. S. Skokov, C. S. Carmer, B. Weiner, and M. Frenklach, Phys. Rev. B 49, 5662 (1994).
17. S. Ciraci and I. P. Batra, Phys. Rev. B 15, 3254 (1977).
18. S. H. Yang, D. A. Drabold, and J. B. Adams, Phys. Rev. B 48, 5261 (1993).
19. B. N. Davidson and W. E. Pickett, Phys. Rev. B 49, 11253 (1994).
20. M. Frenklach and H. Wang, Phys. Rev. B 43, 1520 (1991).
21. S. J. Harris and D. G. Goodwin, J. Phys. Chem. 97, 23 (1993).
22. M. E. Coltrin and D. S. Dandy, J. Appl. Phys. 74, 5803 (1993).
23. D. S. Dandy and M. E. Coltrin, J. Mater. Res. 10, 1993 (1995).
24. M. O. Kaukonen and R. M. Nieminen, Surf. Sci. 331-3, 975 (1995).
25. E. J. Dawnkaski, D. Srivastava, and B. J. Garrison, J. Chem. Phys. 104, 5997 (1996).
26. M. M. Clark, L. M. Raff, and H. L. Scott, Comput. Phys. 10, 584 (1996).
27. C. C. Battaile, D. J. Srolovitz, and J. E. Butler, Diamond Relat. Mater. (in press).
28. A. B. Bortz, M. H. Kalos, and J. L. Lebowitz, J. Comp. Physiol. 17, 10 (1975).
29. G. N. Hassold and E. A. Holm, Comput. Phys. 7, 97 (1993).
30. K. A. Fichthorn and W. H. Weinberg, J. Chem. Phys. 95, 1090 (1991).
31. R. Locher, C. Wild, N. Herres, D. Behr, and P. Koidl, Appl. Phys. Lett. 65, 34 (1994).
32. J. S. Kim and M. A. Cappelli, J. Mater. Res. 10, 149 (1995).
33. R. E. Rawles, W. G. Morris, and M. P. D'Evelyn, in Diamond for Electronic Applications, Boston, MA, edited by D. L. Dreifus, A. Collins, T. Humphreys, K. Das, and P. E. Pehrsson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 416 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1996), pp. 13-18.
34. Y. L. Yang, L. M. Struck, L. F. Sutcu, and M. P. D'Evelyn, Thin Solid Films 225, 203 (1993).
35. B. D. Thoms, J. N. Russell, Jr., P. E. Pehrsson, and J. E. Butler, J. Chem. Phys. 100, 8425 (1994).
36. D. D. Koleske, S. M. Gates, B. D. Thoms, J. N. Russell, Jr., and J. E. Butler, J. Chem. Phys. 102, 992 (1995).
37. S. J. Harris and D. N. Belton, Jpn. J. Appl. Phys., Part I 30, 2615 (1991).
38. S. Skokov, B. Weiner, and M. Frenklach, J. Phys. Chem. 99, 5616 (1995).
39. N. Metropolis, A. W. Rosenbluth, M. N. Rosenbluth, A. H. Teller, and E. Teller, J. Chem. Phys. 21, 1087 (1953).
40. S. J. Harris, Appl. Phys. Lett. 56, 2298 (1990).
41. B. D. Thoms, M. S. Owens, J. E. Butler, and C. Sprio, Appl. Phys. Lett. 65, 2957 (1994).
42. B. D. Thoms and J. E. Butler, Surf. Sci. 328, 291 (1995).
43. S. J. Harris and A. M. Weiner, Appl. Phys. Lett. 53, 1605 (1988).
44. S. J. Harris and A. M. Weiner, J. Appl. Phys. 67, 6520 (1990).
45. F. G. Celii and J. E. Butler, J. Appl. Phys. 71, 2877 (1992).
46. D. S. Dandy and M. E. Coltrin, J. Appl. Phys. 76, 3102 (1994).
47. C. J. Chu, R. H. Hauge, J. L. Margrave, and M. P. D'Evelyn, Appl. Phys. Lett. 61, 1393 (1992).
48. C. Battaile, D. J. Srolovitz, and J. E. Butler, in Thin Films: Surface and Morphology, Boston, MA, edited by R. Cammarata, E. Chason, T. Einstein, and E. Williams, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 441 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1997), pp. 509-514.