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Toraibarojisuto/Journal of Japanese Society of Tribologists
Volumn 45, Issue 12, 2000, Pages 932-935
Semiconductor manufacturing equipment
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Lubrication; Machine element; Semiconductor; Tribology; Vacuum; Wafer handling
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EID: 0001252571     PISSN: 09151168     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.