Optical 3D measurement system for micro-profile and surface roughness measurement;Optisches SD-Meßsystem zur Mikroprofil- und Rauheitsmessung

F and M; Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Messtechnik

Volumn 106, Issue 9, 1998, Pages 612-615

  Frankowski, Gottfried ^a  

^a GFMesstechnik GmbH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001206297     PISSN: 09441018     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (4)

1. G. Frankowski: >Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung<; Deutsches Patent-Nr. 196 39 999 vom 18. 09. 1996
2. L. J. Hornbeck: >Digital light Processing and MEMS: Timely Convergence for Bright Future<; Micromachining and Microfabrication '95: Austin/Texas 1995
3. G. Frankowski: >The ODS 800 - a new projection unit for optical metrology<; Proc. of Fringe '97, 3rd. Int. workshop on Automatic Processing of Fringe Patterns, Bremen, Sept. 15-17, 1997
4. R. Höfling, P. Aswendt: BMBF-Verbundprojekt GLATOM - >Neue Ansätze zur Charakterisierung von Topografien für die Umformtechnik<; 3. Zwischenbericht, Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik, Chemnitz 1998