Evolution of surface morphology during growth and ion erosion of thin films

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 54, Issue 15, 1996, Pages 10880-10889

  Schlatmann, R ^a   Shindler, J ^a   Verhoeven, J ^a  

^a FOM INSTITUTE DIFFER   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001189126     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.54.10880     Document Type: Article

References (42)

1. E. Spiller, Appl. Phys. Lett. 54, 2293 (1989).
2. E. J. Puik, M. J. van der Wiel, J. Verhoeven, and H. Zeijlemaker, Thin Solid Films 193/194, 782 (1990).
3. R. Schlatmann, C. Lu, J. Verhoeven, E. J. Puik, and M. J. van der Wiel, Appl. Surf. Sci. 78, 147 (1994).
4. R. Schlatmann, J. D. Shindler and J. Verhoeven, Phys. Rev. B 51, 5345 (1995).
5. S. F. Edwards and D. R. Wilkinson, Proc. R. Soc. London A 381, 17 (1982).
6. H. Konig and G. Helwig, Optik 6, 111 (1950).
7. J. M. Bradley and J. M. E. Harper, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2390 (1988).
8. C. Herring, in The Physics of Powder Metallurgy, edited by W. E. Kingston (McGraw Hill, New York, 1951), pp. 143-179.
9. W. W. Mullins, J. Appl. Phys. 30, 77 (1959).
10. K. Oyoshi, T. Tagami and S. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 1854 (1991).
11. C. Volkert and A. Polman, in Phase Formation and Modification by Beam-Solid Interactions, edited by G. S. Was, L. E. Rehn, and D. Follstaedt, Symposia Proceedings No. 235 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1992), p. 3.
12. D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).
13. D. G. Stearns, Appl. Phys. Lett. 62, 1745 (1993).
14. E. Spiller, D. G. Stearns and M. Krumrey, J. Appl. Phys. 74, 107 (1993).
15. M. Kardar, G. Parisi and Y. C. Zhang, Phys. Rev. Lett. 56, 889 (1986).
16. T. M. Mayer, E. Chason and A. J. Howard, J. Appl. Phys. 76, 1633 (1994).
17. For a general review, see J. Krug and H. Spohn, in Solids Far From Equilibrium: Growth, Morphology and Defects, edited by C. Godreche (Cambridge University Press, Cambridge, England, 1991).
18. D. E. Savage, J. Kleiner, N. Schimke, Y. H. Phang, T. Janowski, J. Jacobs, R. Kariotis and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 69, 1 (1991).
19. M. K. Sanyal, S. K. Sinha, and A. Gibaud, in Interface Dynamics and Growth, edited by K. S. Liang, M. P. Anderson, R. F. Bruinsma, and G. Scoles, MRS Symposia Proceedings No. 237 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1992).
20. E. Chason and T. M. Mayer, Appl. Phys. Lett. 62, 363 (1993).
21. E. Chason, T. M. Mayer, B. K. Kellerman, D. T. McIlroy and A. J. Howard, Phys. Rev. Lett. 72, 3040 (1994).
22. E. A. Eklund, R. Bruinsma, J. Rudnick and R. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 67, 1759 (1991).
23. E. A. Eklund, E. J. Snyder and R. S. Williams, Surf. Sci. 285, 157 (1993).
24. J. Krim, I. Heyvaert, C. van Haesendonck and Y. Bruynseraede, Phys. Rev. Lett. 70, 57 (1993).
25. E. J. Puik, M. J. van der Wiel, H. Zeijlemaker and J. Verhoeven, Rev. Sci. Instrum. 63, 1415 (1992).
26. E. Louis, H.-J. Voorma, N. B. Koster, L. Shmaenok, F. Bijkerk, Yu. Ya. Platonov, S. Yu. Zuev, S. S. Andreev, E. A. Shamov and N. N. Salashchenko, Microelectron. Eng. 27, 235 (1995).
27. A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Döring, M. Pröpper, B. Schmiedeskamp and U. Heinzmann, Thin Solid Films 228, 154 (1993).
28. E. Spiller, J. Wilczyncski, L. Golub and G. Nystrom, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1546, 168 (1991).
29. S. K. Sinha, E. B. Sirota, S. Garoff and H. B. Stanley, Phys. Rev. B 38, 2297 (1988).
30. J. Als-Nielsen, F. Christensen and P. S. Pershan, Phys. Rev. Lett. 48, 1107 (1982).
31. M. K. Sanyal, S. K. Sinha, K. G. Huang and B. M. Ocko, Phys. Rev. Lett. 66, 628 (1991).
32. I. M. Tidswell, T. A. Rabedeau, P. S. Pershan and S. D. Kosowsky, Phys. Rev. Lett. 66, 2108 (1991).
33. J. D. Shindler, E. A. L. Mol, A. Shalaginov, and W. H. de Jeu, Phys. Rev. Lett. 74, 722 (1995).
34. M. P. Bruijn, P. Chakraborty, H. W. van Essen, J. Verhoeven, and M. J. van der Wiel, Proc. SPIE 563, 36 (1985).
35. J. D. Shindler and R. M. Suter, Rev. Sci. Instrum. 63, 5343 (1992).
36. T. Salditt, T. H. Metzger and J. Peisl, Phys. Rev. Lett. 73, 2228 (1994).
37. L. G. Parratt, Phys. Rev. 95, 359 (1954).
38. V. Holy, J. Kubena, I. Ohlidal, K. Lischka and W. Plotz, Phys. Rev. B 47, 15t896 (1993).
39. J. B. Kortright, J. Appl. Phys. 70, 3620 (1991).
40. Y. H. Phang, D. E. Savage, R. Kariotis and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 74, 3181 (1993).
41. A. Petford-Long, M. B. Stearns, C. H. Chang, D. G. Stearns, N. M. Ceglio and A. M. Hawrylak, J. Appl. Phys. 61, 1422 (1987).
42. J. M. Slaughter, P. A. Kearney, D. W. Schulze, C. M. Falco, C. R. Hills, E. B. Saloman and R. N. Watts, Proc. SPIE 1343, 73 (1990).