Self-limiting behavior of scanning-electron-beam-induced local oxidation of hydrogen-passivated silicon surfaces

Applied Physics Letters

Volumn 76, Issue 2, 2000, Pages 194-196

  Wei, Y Y ^a   Eres, Gyula ^a  

^a OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001073818     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.125700     Document Type: Article

References (19)

1. C. F. Quate, Surf. Sci. 386, 259 (1997).
2. J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
3. T. Teuschler, K. Mahr, S. Miyazaki, M. Hundhausen, and L. Ley, Appl. Phys. Lett. 67, 3144 (1995).
4. A. E. Gordon, R. T. Fayfield, D. D. Liftin, and T. K. Higman, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2805 (1995).
5. P. Avouris, T. Hertel, and R. Martel, Appl. Phys. Lett. 71, 285 (1997).
6. D. Stievenard, P. A. Fontaine, and E. Dubois, Appl. Phys. Lett. 70, 3272 (1997).
7. P. A. Fontaine, E. Dubois, and D. Stievenard, J. Appl. Phys. 84, 1776 (1998).
8. J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 73, 271 (1998).
9. J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto, and H. Yokoyama, J. Appl. Phys. 84, 6891 (1998).
10. M. Calleja, J. Anguita, R. Garcia, K. Birkelund, F. Perez-Murano, and J. A. Dagata, Nanotechnology 10, 34 (1999).
11. F. Perez-Murano, K. Birkelund, K. Morimoto, and J. A. Dagata, Appl. Phys. Lett. 75, 199 (1999).
12. N. Kramer, J. Jorritsma, H. Birk, and C. Schonenberger, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 805 (1995).
13. R. E. Howard, W. J. Skocpol, and L. D. Jackel, Annu. Rev. Mater. Sci. 16, 441 (1986).
14. H. Y. C. Hui, Gyula Eres, and D. C. Joy, Appl. Phys. Lett. 72, 341 (1998).
15. D. Graf, M. Grundner, R. Schulz, and L. Muhlhoff, J. Appl. Phys. 68, 5155 (1990).
16. T. Sah, J. Y. Sun, and J. J. Tzou, J. Appl. Phys. 54, 2547 (1983).
17. M. V. Fiscetti, J. Appl. Phys. 56, 575 (1984).
18. N. Cabrera and N. F. Mott, Rep. Prog. Phys. 12, 163 (1949).
19. F. J. Feigl, D. R. Young, D. J. DiMaria, S. Lai, and J. Calise, J. Appl. Phys. 52, 5665 (1981).