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Volumn 56, Issue 15, 1990, Pages 1442-1444

Growth of high quality 6H-SiC epitaxial films on vicinal (0001) 6H-SiC wafers

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EID: 0001072754     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.102492     Document Type: Article
Times cited : (116)

References (19)
  • 17
    • 84950596900 scopus 로고    scopus 로고
    • Cree Research, Inc, Durham, NC 3. 2771


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.