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Volumn 97-98, Issue PART 2, 1987, Pages 1455-1458

Fluorinated amorphous silicon-germanium alloys deposited from disilane-germane mixture

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EID: 0000849103     PISSN: 00223093     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/0022-3093(87)90349-8     Document Type: Article
Times cited : (61)

References (6)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.