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Volumn 365, Issue 1-3, 1999, Pages 199-202

Characterization of transition metal nitride formation in Rapid Thermal Processing (RTP)

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EID: 0000790944     PISSN: 09370633     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s002160051472     Document Type: Article
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References (13)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.